离子注入机三大厂家
答:厂家 型号 能量(KEV) 注入厚度 注入角度 Axcelis 6200 10 - 200 3" - 150mm 0° - 10° Axcelis 6200AV 10 - 200 3" - 150mm 0° - 60° Varian E220 10 - 200 3" - 200mm 0° - 60° Varian E500 10 - 250 150 - 200...
答:离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用作半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。
答:一类。离子注入机是高压小型加速器中的一种,根据环境保护部、国家卫生和计划生育委员会发布的《射线装置分类》公告得知,离子注入机属于一类类射线装置。
答:离子注入机原理:离子注入机由离子源、质量分析器、加速器、四级透镜、扫描系统和靶室组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于...
答:七十年代末开始承担离子注入机、电子束曝光机、聚焦离子束、等离子刻蚀等半导体设备的研制。目前48所持有公司1.99%股权。近期公司公告与48所签订战略合作协议,合作内容包括硅片制造、组件制造的合作,并与48所的全资子公司红太阳光电科技公司签订相关项目的建设合同。但这种合作有较大不确定性。贵航股份(600523): 估值...
答:不只是南大光电,此前晶瑞股份曾花费七千多万人民币购买了一台ASML光刻机,虽然是二手的,但是对研发28nm高端光刻胶也有重大意义。另外上海新阳采购的ASML光刻机也有多台进入到生产线,对参与国产高端光刻胶的研发都是有巨大帮助的。中国芯片在离子注入机、刻蚀机、光刻胶这三大芯片制造环节技术中,都...
答:集团公司成功地完成了国家"863"离子注入机重大专项攻关任务,技术上实现了从500纳米到100纳米的五代跨越。该项目获得2006年国家信息产业重大科技发明奖,相关设备已成功地应用于中芯国际集成电路大生产线。集团公司在光刻机、薄膜生长、平坦化、材料加工和先进封装设备等方面也取得了一大批科研成果。能源电子...
答:具体地说,离子注入能改变材料的声学、光学和超导性能,提高材料的工作硬度、耐磨损性、抗腐蚀性和抗氧化性,最终延长材料工作寿命。离子注入提高工模具的耐磨性能、金属样品的抗疲劳性以及金属表面耐腐蚀性 2 离子注入机应用于掺杂工艺 在半导体工艺技术中,离子注入具有高精度的剂量均匀性和重复性,可以...
答:20世纪70年代初,经受过“文化大革命”批判的邹世昌回到了研究工作岗位,此时他的研究领域已转到研究离子束与固体材料的相互作用及其在半导体材料与器件方面的应用。当时“文化大革命”还在继续,能用的设备是国内制造的第一台20万电子伏特能量离子注入机,性能很不稳定。邹世昌先参加了CMOS集成电路(电子手表...
答:利用加速器将一定能量的离子注入到固体材料的表层,可以获得良好的物理、化学及电学性能。半导体器件、金属材料改性和大规模集成电路生产都应用了离子注入技术。我国现拥有各类离子注入机100多台。其中我国自己累计生产出140多台离子注入机,能量为150KeV~600KeV(1KeV=1×103eV),流强为0.5mA到十几mA。1.2 低能加速器...
网友评论:
戚果19122829203:
集成电路生产设备 -
20778柏学
: 离子注入机,光刻机,CMP机,等,整个生产线可能几百万到几亿不等,小尺寸工艺的更贵.
戚果19122829203:
主业为嵌入式的股票有哪些 -
20778柏学
: 海康威视:安防产业龙头 控股股东为杭州计算机外部设备研究所(52所),52所重点发展数字音视频、数字存储记录、外设加固、税务电子化、智能监控等技术及各类电子产品、节能照明产品等,其中数字音视频技术目前处于全球领先水平,...
戚果19122829203:
半导体材料中,离子注入与离子掺杂有什么区别? -
20778柏学
: 离子注入是离子参杂的一种. 随着VLSI器件的发展,到了70年代,器件尺寸不断减小,结深降到1um以下,扩散技术有些力不从心.在这种情况下,离子注入技术比较好的发挥其优势.目前,结深小于1um的平面工艺,基本都采用离子注入技术...
戚果19122829203:
离子注入机的辐射大吗? -
20778柏学
: 一般注入时,都是个在封闭式的真空环境,所以辐射没那么大.
戚果19122829203:
离子注入机对女性危害有多大? -
20778柏学
: 看是什么材料了,要是硅中的离子注入一般是没有辐射的,要是砷化镓的话就要注意防护了,砷是有毒的.
戚果19122829203:
葡萄用尿素滴灌配比是多少? -
20778柏学
: 葡萄滴灌施肥时间1.在萌芽长梢期施肥1-2次,一般以尿素溶液为主,用量为一公顷15-45kg.葡萄园滴灌技术滴灌是近几年来迅速发展起来的一种节水、高效灌溉技术,滴灌是通过滴头点滴的方式,缓慢地把水分送到作物根区的灌水方法.过...
戚果19122829203:
发动机链条好还是皮带好 -
20778柏学
: 发动机正时是链条好还是皮带各有优缺点,根据需要来定. 正时皮带与正时链条的优点与缺点 分三个方面谈谈优缺点: 一、厂家优缺点 1、采用正时皮带能降低成本这是毋庸置疑的,反之则增加成本; 2、采用正时皮带厂家能在后期的使用中...
戚果19122829203:
怎样使毛巾变软 -
20778柏学
: 毛巾知识毛巾用的时间长了就会变硬,这是怎么回事?我们平时用的水里,有一些能被水溶解的矿物质,象钙、镁等.我们使用的肥皂中,有一种叫脂肪酸钠的物质.脂肪酸钠遇到水里的钙、镁,能变成一种不能被水溶解的沉淀物, 这些沉淀...
戚果19122829203:
笔记本不关机好不好. -
20778柏学
: 有影响的,由于笔记本内部元件都比较紧凑,如果多日不关机,其热量得不到有效排出会烧坏内部元件 比如CPU,显卡等. 主要影响的是屏幕,更严格的说是灯管,因为灯管是有寿命的,长时间使用会加速老化.