压力传感器工作原理是什么?

三种压力传感器工作原理介绍:
1. 压电压力传感器
压电式压力传感器利用压电效应将受到的力转换为电量。它主要由压电材料制成,如石英、磷酸二氢胺和酒石酸钾钠。这些材料在受到外力作用时,表面会产生电荷。通过电荷放大器和其他电路,这些电荷被转换为与受力成正比的电量输出。压电传感器适用于测量力以及与力相关的非电物理量,如加速度和压力。它的优点包括重量轻、工作可靠、结构简单、信噪比高、灵敏度高等,但也有对潮湿敏感和输出电流响应差等缺点。
2. 压阻压力传感器
压阻压力传感器基于压阻效应,即材料在受到机械应力时电阻发生变化。半导体材料,尤其是硅,展现出比金属更大的压阻效应。压阻传感器通常将敏感芯体接入惠斯登电桥中。当敏感芯体受到压力时,其电阻变化导致电桥失去平衡,从而输出与压力对应的电压信号。通过电桥检测电阻值变化,并经过放大和电压电流转换,最终输出4~20mA的标准电流信号。为减小温度对测量的影响,压阻传感器采用温度补偿措施。
3. 电容式压力传感器
电容式压力传感器使用电容作为敏感元件,将压力变化转换为电容值的变化。它采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电极。当薄膜因压力而变形时,与固定电极之间的电容量发生变化,通过测量电路输出电信号。电容式压力传感器分为单电容式和差动电容式两种。单电容式传感器灵敏度与薄膜面积和压力成正比,与薄膜张力和距离成反比。差动电容式传感器具有更高的灵敏度和线性度,但其加工难度大,且不能实现对被测介质的隔离。

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