什么是蚀刻?什么是湿蚀刻?蚀刻用的化学药水有? 什么是化学蚀刻?

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蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。湿蚀刻就是利用合适的化学溶液腐蚀去除材质上未被光阻覆盖(感光膜)的部分,达到一定的雕刻深度。蚀刻精度高,则可以完成精度要求更高的精细零件的加工,扩大蚀刻应用的范围。目前已经使用的蚀刻液类型有六种类型:
  酸性氯化铜
  碱性氯化铜
  氯化铁
  过硫酸铵
  硫酸/铬酸
  硫酸/双氧水蚀刻液。

蚀刻是利用物质的化学反应,除去部分物质。湿蚀刻一般是利用的液体溶液作反应液。
常用的化学药水,硝酸、氢氟酸等。

腐蚀雕刻
需要用溶液进行腐蚀

HF氢氟酸

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