光刻机浸液系统中国那几家在做
中国在做光刻机浸液系统的有：张江高科、炬光科技、富创精密、上海微电子装备、合肥芯硕半导体有限公司、先腾光电等。
1、张江高科
上海浦东新区直属国有控股上市公司，培育孵化了唯捷创芯、英集芯、赛微微电子、云从科技、益方生物和联影医疗等科创板上市公司。同时，公司持有国产高端光刻机企业上海微电子10.779%的股权。
2、炬光科技
国内实力最强的高功率半导体激光器品牌商，公司专注于半导体激光、激光光学业务领域。公司光场匀化器性能卓越，应用于国内主要光刻机研发项目和样机中，并进入阿斯麦、台积电的供应链。
3、富创精密
国内半导体设备精密零部件领军企业，主营工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路，是全球少数能够量产7纳米制程零部件厂商。早已进入海外头部厂商的供应链，证实了公司强大的产品和技术能力。
4、上海微电子装备
有限光刻机主要用于广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造领域，2018年出货大概在60台。营业收入未公布，政府是有大量补贴的。处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机，制程上的差距就很大，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
5、合肥芯硕半导体有限公司
成立与2006年4月，是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000，已经实现最高200nm的量产。
6、先腾光电
成立于2013年4月，已经实现最高200nm的量产，在2014国际半导体设备及材料展览会上，先腾光电亮出了完全自主知识产权的LED光刻机生产技术，震惊四座。
以上内容参考：百度百科-合肥芯硕半导体有限公司
以上内容参考：百度百科-先腾光电
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