国产首台光刻机多少纳米
28纳米。根据中国人民网显示，2023年中国已经成功研发出国产第一台28纳米（nm）光刻机，该光刻机预计在年底能够交付使用。绛旓細鍥戒骇鍏夊埢鏈90nm銆傝殌鍒绘満杈惧埌浜5nm姘村钩锛屽厜鍒绘満浠嶇劧鏄浜90nm姘村钩锛2018骞存椂涓闄㈢殑鈥滆秴鍒嗚鲸鍏夊埢瑁呭鐮斿埗鈥濋氳繃楠屾敹锛屽畠鐨勫厜鍒诲垎杈ㄥ姏杈惧埌22nm锛岀粨鍚堝弻閲嶆洕鍏夋妧鏈悗锛屾湭鏉ヨ繕鍙敤浜庡埗閫10nm绾у埆鐨勮姱鐗囥備絾鏄繖浠呴檺浜庡疄楠屽闃舵锛屽疄鐜板晢鐢ㄨ繕鏄渶瑕佷竴瀹氭椂闂淬傚厜鍒绘満锛坙ithography锛夊張鍚嶏細鎺╂ā瀵瑰噯鏇濆厜鏈猴紝鏇濆厜...
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