1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？ 无尘车间的标准是什么?
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1.1\u7ea7\uff1a\u4e3b\u8981\u7528\u4e8e\u5236\u9020\u96c6\u6210\u7535\u8def\u7684\u5fae\u7535\u5b50\u5de5\u4e1a\uff0c\u5bf9\u96c6\u6210\u7535\u8def\u7684\u7cbe\u786e\u8981\u6c42\u4e3a\u4e9a\u5fae\u7c73\u3002
2.10\u7ea7\uff1a\u4e3b\u8981\u7528\u4e8e\u5e26\u5bbd\u5c0f\u4e8e2\u5fae\u7c73\u7684\u534a\u5bfc\u4f53\u5de5\u4e1a\u3002
3.100\u7ea7\uff1a\u53ef\u7528\u4e8e\u533b\u836f\u5de5\u4e1a\u7684\u65e0\u83cc\u5236\u9020\u5de5\u827a\u7b49\uff0c\u8fd9\u4e00\u6d01\u51c0\u5ba4\u5927\u91cf\u5e94\u7528\u4e8e\u690d\u5982\u4f53\u5185\u7269\u54c1\u7684\u5236\u9020\uff0c\u5916\u79d1\u624b\u672f\uff0c\u5305\u62ec\u79fb\u690d\u624b\u672f\uff0c\u96c6\u6210\u5668\u7684\u5236\u9020\uff0c\u90a3\u4e9b\u5bf9\u7ec6\u83cc\u611f\u67d3\u7279\u522b\u654f\u611f\u7684\u75c5\u4eba\u7684\u9694\u79bb\u6cbb\u7597\uff0c\u6bd4\u5982\u50cf\u9aa8\u9ad3\u79fb\u690d\u75c5\u4eba\u672f\u540e\u7684\u9694\u79bb\u6cbb\u7597\u3002
4.1000\u7ea7\uff1a\u4e3b\u8981\u7528\u4e8e\u9ad8\u8d28\u91cf\u5149\u5b66\u4ea7\u54c1\u7684\u751f\u4ea7\uff0c\u8fd8\u7528\u4e8e\u6d4b\u8bd5\uff0c\u88c5\u914d\u98de\u673a\u86c7\u87ba\u4eea\uff0c\u88c5\u914d\u9ad8\u8d28\u5fae\u578b\u8f74\u627f\u7b49\u3002
5.10000\u7ea7\uff1a\u7528\u4e8e\u6db2\u538b\u8bbe\u5907\u6216\u6c14\u538b\u8bbe\u5907\u7684\u88c5\u914d\uff0c\u67d0\u4e9b\u60c5\u51b5\u4e0b\u4e5f\u7528\u4e8e\u98df\u54c1\u996e\u6599\u5de5\u4e1a\uff0c\u6b64\u5916\uff0c\u4e07\u7ea7\u65e0\u5c18\u8f66\u95f4\u5728\u533b\u5de5\u4e1a\u4e2d\u4e5f\u5f88\u5e38\u7528\u3002
6.100000\u7ea7\uff1a\u9002\u7528\u4e8e\u591a\u79cd\u5de5\u4e1a\u90e8\u95e8\uff0c\u6bd4\u5982\u5149\u5b66\u4ea7\u54c1\u53ca\u7535\u5b50\u4ea7\u54c1\u7684\u5236\u9020\u3002
1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
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