福建德国普发全自动氦质谱检漏仪工作原理

福建德国普发全自动氦质谱检漏仪工作原理是灯丝电离出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞，使氦分子发生电离，He→He++e。氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是：检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s数量级，仪器响应快，氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高。

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