国产光刻机哪个品牌好？
JSR\u6377\u65f6\u96c5\u5168\u4ea7\u54c1\u7ebf \u8d27\u6e90\u5145\u8db3 \u516c\u53f8\u73b0\u8d27\u4ee3\u7406\u9500\u552e 光刻机品牌主要有：ASML，尼康，佳能，欧泰克，上海微电子装备，SUSS，ABM, Inc.目前光刻机水平主要是14nm工艺，最先进的光刻机是7nm工艺，目前只有荷兰ASML公司可以生产。
其它国家光刻机还有9nm工艺， 技术主要掌握在日本人和德国人手里。
荷兰是光刻机领域的霸主，但不幸的是，荷兰的光刻机一直不对中国出口。
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