真空炉分为哪些种类，一般都用什么方法检漏，使用氦质谱检漏仪检漏的有哪些？ 氦质谱检漏仪的氦质谱检漏方法
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真空炉是在真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。最高温度可达3000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。
真空炉都应该进行检漏的吧, 而氦质谱检漏仪是目前最先进最精准的检漏方式, 所以最好是都用氦气检漏。伯东公司真空产品事业部的网站上有关于氦质谱检漏仪用于真空炉检漏的应用案例，可以参考一下。
真空炉主要按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉等。检漏方法主要有喷射法、吸嘴法、真空法、压力法等。其中，使用氦质谱检漏仪的方法通常是通过在真空炉内部充入一定量的氦气，再利用氦质谱检漏仪检测炉体外部是否有氦气泄漏，从而判断真空炉是否存在漏孔。这种方法灵敏度高，能准确找到漏点。
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