紫外线强度检测方法及标准

紫外线强度检测方法及标准:通过观察卡片上的色块颜色,与对照色块比较,判定灯管强度是否合格。紫外线监测指示卡应经国家卫生行政部门批准,并在有效期内使用。

紫外线强度指示卡由卡片纸、紫外线感光色块和标准色组成,中央为紫外线感光色块,两端分别印上辐射照度为90μW/cm²和70μW/cm²的标准色块。当紫外线感光色块受到紫外线照射之后,随紫外线辐射强度的强弱,产生深浅程度不同的紫红色,与标准色块比较可监测紫外线灯253.7nm波段紫外线的辐射强度。

紫外线辐照计监测法开启紫外线灯5min,将调试好的辐照计光盖打开,感光探头置于被检灯管中央垂直1m处照射,待仪表数字相对稳定,读值记录结果。紫外线指示卡监测法开启紫外线灯5min,将指示卡色块面朝向灯管放置在被检灯管中央垂直1m处照射1min,立即观察指示卡色块,将反应色块与标准色块进行比较,记录结果。

紫外线涉及领域

紫外线可用于光刻设备,用于生产电子芯片,如EUV光刻机采用的是EUV超高频紫外线,由于其波长极短,分辨率高,可以用于光刻机,生产极短制程的CPU和各种电子芯片,紫外光刻是电子工业的重要生产技术之一。需要提高成品率的半导体器件、光学制品等制造中,紫外线UV和O3臭氧并用的干式光表面处理技术已成不可缺少的技术手段。

由于大功率超高功率低气压UV放电管开发的进展,以及随着微电子等产品的超微细化,在微电子、超精密器件等产品的制造过程中,由高频短波紫外线及其产生的臭氧对其产品的表面进行超精密清洗或改善其表面的接着性、附着性的干式光表面处理技术的实用化进展得很快。



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