氦质谱检漏仪的工作原理 氦质谱检漏仪？？？？？
\u6c26\u8d28\u8c31\u68c0\u6f0f\u4eea\u5de5\u4f5c\u539f\u7406\u7531\u4e8e\u6c26\u6c14\u5206\u5b50\u9897\u7c92\u5c0f,\u6e17\u900f\u6027\u597d,\u800c\u4e14\u6c26\u8d28\u8c31\u68c0\u6f0f\u4eea\u5bf9\u6c26\u6c14\u654f\u611f,\u6240\u4ee5\u5fae\u6f0f\u4e5f\u80fd\u68c0\u51fa\u6765
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(1)\u6c26\u8d28\u8c31\u68c0\u6f0f\u4eea\u5de5\u4f5c\u539f\u7406\u4e0e\u7ed3\u6784
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在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。
质谱检漏仪是一种简易的质谱仪，对分辨率和检测的质量范围要求很低，但对灵敏度要求较高。
楼上的回答则是质谱仪中的一种磁质谱仪的原理和分析过程。
其实各个种类的质谱仪都可用来作为检漏质谱仪，只是出于成本和灵敏度的考虑，更多的用的是四极杆质谱检漏仪。
氦质谱检漏仪是一种专门用于检测氦气的质谱仪，其内部有一套高真空系统，以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后，首先会在离子源处被电离，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。
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