氦检机设备操作原理 PSA制氮机原理及操作图解
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主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.
氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质最分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。
常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流产品。
氦检设备的基本工作原理：
根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，通过氦检漏仪能高精度迅速准确的判断工件的泄漏情况。
基本功能：
操作者将工件放在真空箱内，将箱内夹具与工件接头密封夹紧，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成工件清扫，抽空，大漏检测，充氦，中漏及微露检测等程序，最后通过氦气回收系统，将氦气回收到低压储存罐中，将氦气重复利用。 生产节拍快，检漏精度高，适应满足现代工业流水线
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