半导体代工厂里做蚀刻的工程师可以解释一下etch bias的概念吗? 工程师的级别是如何划分的?

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\u56e0\u4e3a\u7533\u62a5\u5de5\u7a0b\u7c7b\u804c\u79f0\uff0c\u4e13\u4e1a\u80af\u5b9a\u662f\u8981\u76f8\u7b26\u6216\u76f8\u8fd1\u7684
\u5176\u4ed6\u7c7b\u578b\u7684\u4e13\u4e1a\uff0c\u662f\u65e0\u6cd5\u7533\u62a5\u5de5\u7a0b\u7c7b\u804c\u79f0\u7684
\u9664\u975e\u4f60\u6709\u7279\u522b\u7a81\u51fa\uff0c\u6216\u4e00\u4e9b\u91cd\u5927\u4e13\u5229\u7b49\u7b49\uff0c\u624d\u53ef\u4ee5\u8de8\u7c7b\u522b\u7533\u62a5

\u6ee1\u610f\u8fd8\u8bf7\u91c7\u7eb3\uff0c\u60f3

\u52a9\u7406\u5de5\u7a0b\u5e08--\u5de5\u7a0b\u5e08--\u9ad8\u7ea7\u5de5\u7a0b\u5e08--\u6559\u6388\u7ea7\u9ad8\u7ea7\u5de5\u7a0b\u5e08

楼上的不知道不要扯淡好吗?etch bias是指刻蚀后的CD减去刻蚀前的CD的bias值,也就是ETCH CD-PHOTO CD.
CD bias可以表征刻蚀量和刻蚀均一性。是生产过程中非常重要的数据参数

etch bias字面理解就是刻蚀偏差,因为我们生产的时候不可能完全做到100%对准,于是会产生不可避免的误差

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