台积电的光刻机哪里来的

台积电所使用的光刻机主要来自荷兰ASML公司。据媒体报道,台积电为增强自身实力,向ASML公司订购了55台光刻机。ASML是全球光刻机行业的领导者,但其许多核心技术依赖于欧洲和美国的技术供应商。因此,受美国技术公司的影响,禁令可能导致我们难以获得这些设备。台积电由于其美国背景以及曾对ASML有恩,双方建立了长期的合作关系。20多年前,ASML刚独立时曾面临经营危机,台积电的张忠谋为其提供了订单,帮助ASML起死回生。
光刻机品牌众多,根据技术路线的不同,主要分为以下几类:高端投影式光刻机包括步进投影和扫描投影两种,分辨率可达几纳米至几微米,是世界上最精密的仪器之一。这类高端光刻机制造难度极高,全球仅有少数公司能够生产,其中包括荷兰ASML(其镜头来自德国)、日本Nikon(英特尔曾购买过其高端光刻机)和日本Canon等品牌。

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