用内装电子线路的压电式加速度传感器测量某种机器振动的示意图。 压电式加速度传感器

\u5982\u4f55\u7528\u538b\u7535\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u8fdb\u884c\u632f\u52a8\u9891\u7387\u7684\u6d4b\u91cf

\u7528\u538b\u7535\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u8fdb\u884c\u632f\u52a8\u9891\u7387\u7684\u6d4b\u91cf\u65b9\u6cd5\u548c\u8fc7\u7a0b\uff1a
\u7528YA19T\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u63a5\u5165\u5e94\u632f\u6d4b\u8bd5\u7684 24\u4f4d\u6570\u636e\u91c7\u96c6\u4eea\u5c31\u53ef\u4ee5\u4e86\uff0c\u901a\u8fc7\u8f6f\u4ef6\u5c31\u53ef\u4ee5\u6d4b\u8bd5\u632f\u52a8\u9891\u7387\u4e86\u3002

\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u5e38\u7528\u7684\u6709\u7535\u8377\u578b\u548cicp\u578b\u4e24\u79cd\uff0c\u7535\u8377\u578b\u8fd8\u8981\u52a0\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u6bd4\u8f83\u9ebb\u70e6\uff0c\u4e00\u822c\u90fd\u662f\u7528ICP\u7c7b\u578b\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u7684\u4e86\u3002

\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u53c8\u79f0\u538b\u7535\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u3002\u5b83\u4e5f\u5c5e\u4e8e\u60ef\u6027\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u3002\u5b83\u662f\u5229\u7528\u67d0\u4e9b\u7269\u8d28\u5982\u77f3\u82f1\u6676\u4f53\u7684\u538b\u7535\u6548\u5e94\uff0c\u5728\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u53d7\u632f\u65f6\uff0c\u8d28\u91cf\u5757\u52a0\u5728\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u4e0a\u7684\u529b\u4e5f\u968f\u4e4b\u53d8\u5316\u3002\u5f53\u88ab\u6d4b\u632f\u52a8\u9891\u7387\u8fdc\u4f4e\u4e8e\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u56fa\u6709\u9891\u7387\u65f6\uff0c\u5219\u529b\u7684\u53d8\u5316\u4e0e\u88ab\u6d4b\u52a0\u901f\u5ea6\u6210\u6b63\u6bd4\u3002

\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668

\uff081\uff09\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u7ed3\u6784\u548c\u5b89\u88c5

\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u53c8\u79f0\u538b\u7535\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u3002\u5b83\u4e5f\u5c5e\u4e8e\u60ef\u6027\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u3002\u5b83\u662f\u5229\u7528\u67d0\u4e9b\u7269\u8d28\u5982\u77f3\u82f1\u6676\u4f53\u7684\u538b\u7535\u6548\u5e94\uff0c\u5728\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u53d7\u632f\u65f6\uff0c\u8d28\u91cf\u5757\u52a0\u5728\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u4e0a\u7684\u529b\u4e5f\u968f\u4e4b\u53d8\u5316\u3002\u5f53\u88ab\u6d4b\u632f\u52a8\u9891\u7387\u8fdc\u4f4e\u4e8e\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u56fa\u6709\u9891\u7387\u65f6\uff0c\u5219\u529b\u7684\u53d8\u5316\u4e0e\u88ab\u6d4b\u52a0\u901f\u5ea6\u6210\u6b63\u6bd4\u3002

\u7531\u4e8e\u538b\u7535\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u7684\u8f93\u51fa\u7535\u4fe1\u53f7\u662f\u5fae\u5f31\u7684\u7535\u8377\uff0c\u800c\u4e14\u4f20\u611f\u5668\u672c\u8eab\u6709\u5f88\u5927\u5185\u963b\uff0c\u6545\u8f93\u51fa\u80fd\u91cf\u751a\u5fae\uff0c\u8fd9\u7ed9\u540e\u63a5\u7535\u8def\u5e26\u6765\u4e00\u5b9a\u56f0\u96be\u3002 \u4e3a\u6b64\uff0c\u901a\u5e38\u628a\u4f20\u611f\u5668\u4fe1\u53f7\u5148\u8f93\u5230\u9ad8\u8f93\u5165\u963b\u6297\u7684\u524d\u7f6e\u653e\u5927\u5668\u3002\u7ecf\u8fc7\u963b\u6297\u53d8\u6362\u4ee5\u540e\uff0c\u65b9\u53ef\u7528\u4e8e\u4e00\u822c\u7684\u653e\u5927\u3001\u68c0\u6d4b\u7535\u8def\u5c06\u4fe1\u53f7\u8f93\u7ed9\u6307\u793a \u4eea\u8868\u6216\u8bb0\u5f55\u5668\u3002\u76ee\u524d\uff0c\u5236\u9020\u5382\u5bb6\u5df2\u6709\u628a\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u4e0e\u524d\u7f6e\u653e\u5927\u5668\u96c6\u6210\u5728\u4e00\u8d77\u7684\u4ea7\u54c1\uff0c\u4e0d\u4ec5\u65b9\u4fbf\u4e86\u4f7f\u7528\uff0c\u800c\u4e14\u4e5f\u5927\u5927\u964d\u4f4e\u4e86\u6210\u672c\u3002
(a)\u4e2d\u5fc3\u5b89\u88c5\u538b\u7f29\u578b (b)\u73af\u5f62\u526a\u5207\u578b (c) \u4e09\u89d2\u526a\u5207\u578b
\u56fe13.18 \u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1

\u5e38\u7528\u7684\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u7ed3\u6784\u5f62\u5f0f\u5982\u56fe13.18\u6240\u793a\u3002S\u662f\u5f39\u7c27\uff0cM\u662f\u8d28\u5757\uff0cB\u662f\u57fa\u5ea7\uff0cP\u662f\u538b\u7535\u5143\u4ef6\uff0cR\u662f\u5939\u6301\u73af\u3002\u56fe13.18a\u662f\u4e2d\u592e\u5b89 \u88c5\u538b\u7f29\u578b\uff0c\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u2014\u8d28\u91cf\u5757\u2014\u5f39\u7c27\u7cfb\u7edf\u88c5\u5728\u5706\u5f62\u4e2d\u5fc3\u652f\u67f1\u4e0a\uff0c\u652f\u67f1\u4e0e\u57fa\u5ea7\u8fde\u63a5\u3002\u8fd9\u79cd\u7ed3\u6784\u6709\u9ad8\u7684\u5171\u632f\u9891\u7387\u3002\u7136\u800c\u57fa\u5ea7B\u4e0e\u6d4b\u8bd5\u5bf9 \u8c61\u8fde\u63a5\u65f6\uff0c\u5982\u679c\u57fa\u5ea7B\u6709\u53d8\u5f62\u5219\u5c06\u76f4\u63a5\u5f71\u54cd\u62fe\u632f\u5668\u8f93\u51fa\u3002\u6b64\u5916\uff0c\u6d4b\u8bd5\u5bf9\u8c61\u548c\u73af\u5883\u6e29\u5ea6\u53d8\u5316\u5c06\u5f71\u54cd\u538b\u7535\u5143\u4ef6\uff0c\u5e76\u4f7f\u9884\u7d27\u529b\u53d1\u751f\u53d8\u5316\uff0c \u6613\u5f15\u8d77\u6e29\u5ea6\u6f02\u79fb\u3002\u56fe13.18c\u4e3a\u4e09\u89d2\u526a\u5207\u5f62\uff0c\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u7531\u5939\u6301\u73af\u5c06\u5176\u5939\u7262\u5728\u4e09\u89d2\u5f62\u4e2d\u5fc3\u67f1\u4e0a\u3002\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u611f\u53d7\u8f74\u5411\u632f\u52a8\u65f6\uff0c\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u627f \u53d7\u5207\u5e94\u529b\u3002\u8fd9\u79cd\u7ed3\u6784\u5bf9\u5e95\u5ea7\u53d8\u5f62\u548c\u6e29\u5ea6\u53d8\u5316\u6709\u6781\u597d\u7684\u9694\u79bb\u4f5c\u7528\uff0c\u6709\u8f83\u9ad8\u7684\u5171\u632f\u9891\u7387\u548c\u826f\u597d\u7684\u7ebf\u6027\u3002\u56fe13.18b\u4e3a\u73af\u5f62\u526a\u5207\u578b\uff0c\u7ed3\u6784\u7b80\u5355\uff0c\u80fd\u505a\u6210\u6781\u5c0f\u578b\u3001\u9ad8\u5171\u632f\u9891\u7387\u7684\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\uff0c\u73af\u5f62\u8d28\u91cf\u5757\u7c98\u5230\u88c5\u5728\u4e2d\u5fc3\u652f\u67f1\u4e0a\u7684\u73af\u5f62\u538b\u7535\u5143\u4ef6\u4e0a\u3002\u7531\u4e8e\u7c98\u7ed3\u5242\u4f1a\u968f\u6e29\u5ea6\u589e\u9ad8\u800c\u53d8 \u8f6f\uff0c\u56e0\u6b64\u6700\u9ad8\u5de5\u4f5c\u6e29\u5ea6\u53d7\u5230\u9650\u5236\u3002
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\u538b\u7535\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u7684\u524d\u7f6e\u653e\u5927\u5668\u6709\uff1a\u7535\u538b\u653e\u5927\u5668\u548c\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u3002\u6240\u7528\u7535\u538b\u653e\u5927\u5668\u5c31\u662f\u9ad8\u8f93\u5165\u963b\u6297\u7684\u6bd4\u4f8b\u653e\u5927 \u5668\u3002\u5176\u7535\u8def\u6bd4\u8f83\u7b80\u5355\uff0c\u4f46\u8f93\u51fa\u53d7\u8fde\u63a5\u7535\u7f06\u5bf9\u5730\u7535\u5bb9\u7684\u5f71\u54cd\uff0c\u9002\u7528\u4e8e\u4e00\u822c\u632f\u52a8\u6d4b\u91cf\u3002\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u4ee5\u7535\u5bb9\u4f5c\u8d1f\u53cd\u9988\uff0c\u4f7f\u7528\u4e2d\u57fa\u672c\u4e0d\u53d7 \u7535\u7f06\u7535\u5bb9\u7684\u5f71\u54cd\u3002\u5728\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u4e2d\uff0c\u901a\u5e38\u7528\u9ad8\u8d28\u91cf\u7684\u5143\u3001\u5668\u4ef6\uff0c\u8f93\u5165\u963b\u6297\u9ad8\uff0c\u4f46\u4ef7\u683c\u4e5f\u6bd4\u8f83\u8d35\u3002

\u4ece\u538b\u7535\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u7684\u529b\u5b66\u6a21\u578b\u770b\uff0c\u5b83\u5177\u6709\u201c\u4f4e\u901a\u201d\u7279\u6027\uff0c\u539f\u53ef\u6d4b\u91cf\u6781\u4f4e\u9891\u7684\u632f\u52a8\u3002\u4f46\u5b9e\u9645\u4e0a\u7531\u4e8e\u4f4e\u9891\u5c24\u5176\u5c0f\u632f\u5e45\u632f\u52a8\u65f6\uff0c\u52a0\u901f\u5ea6 \u503c\u5c0f\uff0c\u4f20\u611f\u5668\u7684\u7075\u654f\u5ea6\u6709\u9650\uff0c\u56e0\u6b64\u8f93\u51fa\u7684\u4fe1\u53f7\u5c06\u5f88\u5fae\u5f31\uff0c\u4fe1\u566a\u6bd4\u5f88\u4f4e\uff1b\u53e6\u5916\u7535\u8377\u7684\u6cc4\u6f0f\uff0c\u79ef\u5206\u7535\u8def\u7684\u6f02\u79fb\uff08\u7528\u4e8e\u6d4b\u632f\u52a8\u901f\u5ea6\u548c\u4f4d \u79fb\uff09\u3001\u5668\u4ef6\u7684\u566a\u58f0\u90fd\u662f\u4e0d\u53ef\u907f\u514d\u7684\uff0c\u6240\u4ee5\u5b9e\u9645\u4f4e\u9891\u7aef\u4e5f\u51fa\u73b0\u201c\u622a\u6b62\u9891\u7387\u201d\uff0c\u7ea6\u4e3a0.1\uff5e1Hz\u5de6\u53f3\u3002

\u968f\u7740\u7535\u5b50\u6280\u672f\u7684\u53d1\u5c55\uff0c\u76ee\u524d\u5927\u90e8\u5206\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u5728\u58f3\u4f53\u5185\u90fd\u96c6\u6210\u653e\u5927\u5668\uff0c\u7531\u5b83\u6765\u5b8c\u6210\u963b\u6297\u53d8\u6362\u7684\u529f\u80fd\u3002\u8fd9\u7c7b\u5185\u88c5\u96c6\u6210\u653e\u5927\u5668 \u7684\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u53ef\u4f7f\u7528\u957f\u7535\u7f06\u800c\u65e0\u8870\u51cf\uff0c\u5e76\u53ef\u76f4\u63a5\u4e0e\u5927\u591a\u6570\u901a\u7528\u7684\u4eea\u8868\u3001\u8ba1\u7b97\u673a\u7b49\u8fde\u63a5\u3002\u4e00\u822c\u91c7\u75282\u7ebf\u5236\uff0c\u5373\u75282\u6839\u7535\u7f06\u7ed9\u4f20\u611f\u5668\u4f9b\u7ed9 2\uff5e10mA\u7684\u6052\u6d41\u7535\u6e90\uff0c\u800c\u8f93\u51fa\u4fe1\u53f7\u4e5f\u7531\u8fd92\u6839\u7535\u7f06\u8f93\u51fa\uff0c\u5927\u5927\u65b9\u4fbf\u4e86\u73b0\u573a\u7684\u63a5\u7ebf\u3002\u886813.1\u4e3a\u67d0\u5382\u5bb6\u751f\u4ea7\u7684\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u53c2\u6570\u8868\u3002 \u886813.1 \u5e38\u7528\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u8ba1\u7684\u53c2\u6570\u8868

\u578b\u53f7
\u91cf\u7a0b
\u7075\u654f\u5ea6
\u5206\u8fa8\u7387
\u91cd\u91cf
\u5e94\u7528\u53ca\u7279\u70b9

350B04
5000g
0.5mV/g
0.02g
4.5g
\u9002\u7528\u4e8e\u7206\u7834\u3001\u649e\u51fb\u7b49

350B21
100000g
0.05mV/g
0.3g
4.4g
\u9002\u7528\u4e8e\u7206\u7834\u3001\u649e\u51fb\u3001\u7206\u70b8\u5206\u79bb\u7b49

351B03
150g
10mV/g
0.003g
10.5g
\u53ef\u5728-196\u2103\u7684\u4f4e\u6e29\u73af\u5883\u4e0b\u5de5\u4f5c

352A
5g
1000mV/g
0.00004g
35g
\u9ad8\u5206\u8fa8\u7387\u578b

352C22
500g
10mV/g
0.0015g
0.5g
\u5fae\u578b\uff0c\u9002\u7528\u4e8e\u5c0f\u578b\u7ed3\u6784

352C65
50g
100mV/g
0.00016g
2g
\u5c0f\u578b\u3001\u9ad8\u7075\u654f\u5ea6\u3001\u9ad8\u5206\u8fa8\u7387\uff0c\u5404\u79cd\u7528\u9014

353B18
500g
10mV/g
0.005g
2g
\u9ad8\u9891\u3001\u5c0f\u578b\u3001\u77f3\u82f1\u526a\u5207\uff0c\u5404\u79cd\u7528\u9014

353B33
50g
100mV/g
0.0005g
27g
\u4e09\u89d2\u526a\u5207\u7ed3\u6784\uff0c\u77f3\u82f1\u901a\u7528\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668

353M255
2000g
2.5mV/g
0.04g
17.9g
\u51b2\u51fb\u4f20\u611f\u5668\u3001\u5185\u7f6e\u6ee4\u6ce2\u5668\uff0c\u6869\u57fa\u68c0\u6d4b

355B03
500g
10mV/g
0.0005g
10g
\u73af\u578b

356B08
50g
100mV/g
0.0002g
20g
\u8f74\u3001\u7ed3\u6784\u5b9e\u9a8c

356A18
5g
1000mV/g
0.00006g
24g
3\u8f74\u3001\u9ad8\u7075\u654f\u5ea6

356A40
10g
100mV/g
0.0002g
180g/\u7247\u72b6
3\u8f74\u5750\u57ab\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u6c7d\u8f66\u5b9e\u9a8c

356M41
500g
10mV/g
0.001g
4g/\u65b9\u5f62
3\u8f74\u3001\u5c0f\u578b\uff0c\u6a21\u6001\u3001\u632f\u52a8\u3001\u566a\u58f0\u5b9e\u9a8c

393C
5g
1V/g
0.0001g
1000g
\u8d85\u4f4e\u9891\u5730\u9707\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u957f\u671f\u7a33\u5b9a\u6027\u826f\u597d

393B31
0.5g
10V/g
0.000001g
635g
\u8d85\u4f4e\u9891\u5730\u9707\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u9ad8\u7075\u654f\u5ea6



\uff084\uff09\u538b\u7535\u5f0f\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668

\u7531\u4e8e\u4e0a\u8ff0\u78c1\u7535\u5f0f\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u5b58\u5728\u54cd\u5e94\u9891\u7387\u8303\u56f4\u5c0f\uff0c\u673a\u68b0\u8fd0\u52a8\u90e8\u4ef6\u5bb9\u6613\u635f\u574f\uff0c\u4f20\u611f\u5668\u8d28\u91cf\u5927\u9020\u6210\u9644\u52a0\u8d28\u91cf\u5927\u7b49\u7f3a\u70b9\uff0c\u8fd1\u5e74\u53d1\u5c55\u4e86 \u538b\u7535\u5f0f\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u5373\u5728\u538b\u7535\u5f0f\u52a0\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u7684\u57fa\u7840\u4e0a\uff0c\u589e\u52a0\u4e86\u79ef\u5206\u7535\u8def\uff0c\u5b9e\u73b0\u4e86\u901f\u5ea6\u8f93\u51fa\u3002\u540c\u6837\uff0c\u8fd9\u79cd\u4f20\u611f\u5668\u4e5f\u5168\u90e8\u5b9e\u73b0\u4e86\u5185\u7f6e\uff0c\u5177\u6709\u66ff\u6362\u78c1\u7535\u5f0f\u901f\u5ea6\u4f20\u611f\u5668\u7684\u8d8b\u5411\u3002

1) 加速度峰值(即最大值) amax = Vmax / 10, 其中 Vmax 为测得电压峰值,并假设单位是 mV;
2) 因为 a = dv/dt, 设 v = vmax * sin(2pi*f*t), 则 a = vmax * 2pi*f * cos(2pi*f*t), 即
vmax = amax / (2pi*f) = amax / (200*3.14), 其中f= 100
3) 与2)类似有位移峰值(振幅) dmax = vmax / (2pi*f) = vmax / (200*3.14)

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