氦质谱检漏仪的主要配置
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1. 检漏仪专用分子泵
2. 机械泵或者干泵
3. 定制检漏仪专用电磁阀
4. 内置标准漏口
5. 放大器
6. 采用质谱专用模块
真空系统：真空系统负责在质谱室内建立并保持低真空环境。它通常包括机械泵、分子泵（如果需要达到更高的真空度）以及真空计来监测真空度。
质谱室：质谱室是氦质谱检漏仪的核心部分，它包含了离子源、分析器以及电子系统。离子源将气体样本中的分子电离成离子，分析器则根据离子的质荷比（m/e）将其分离，而电子系统则用于控制质谱室的运行并检测离子的信号。
检漏口和探头：检漏口是用于将待检测物品与质谱室连接起来的接口。探头则用于直接接触待检测物品，以收集可能存在的泄漏气体。探头的形状和大小可以根据不同的检测需求进行定制。
电源和控制系统：电源和控制系统为氦质谱检漏仪提供所需的电力，并控制其运行。这包括控制质谱室的电源、真空系统的电源、检漏口和探头的开关等。
信号处理和显示系统：信号处理和显示系统负责接收质谱室产生的信号，进行处理后显示在屏幕上。这样用户就可以直观地看到检测结果，并据此判断是否存在泄漏。
标准漏孔：标准漏孔是一个已知泄漏率的装置，用于校准氦质谱检漏仪的灵敏度。通过比较标准漏孔产生的信号和待检测物品产生的信号，可以确定待检测物品的泄漏率。
辅助设备：根据具体的应用需求，氦质谱检漏仪还可能配备一些辅助设备，如过滤器、干燥器、冷却器等，以提高检测精度和稳定性。
总的来说，氦质谱检漏仪通过质谱分析的方法，可以非常灵敏地检测到极低浓度的氦气泄漏，因此在航空航天、半导体制造、核工业等领域得到了广泛的应用。
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