薄膜工艺和刻蚀哪个难

刻蚀。
1、在芯片制造中,有三个核心的环节,分别是薄膜沉积、光刻、和刻蚀,光刻是最复杂、最关键、成本最高、耗时最高的环节,刻蚀的成本仅次于光刻,因此刻蚀难。
2、薄膜沉积也是必不可少的重要工序,在制造中,为了实现大型集成电路的分层结构,需要反复进行沉积刻蚀沉积的过程,因此刻蚀难。

  • 钖勮啘宸ヨ壓鍜屽埢铓鍝釜闅
    绛旓細鍒昏殌銆1銆佸湪鑺墖鍒堕犱腑锛屾湁涓変釜鏍稿績鐨勭幆鑺傦紝鍒嗗埆鏄钖勮啘娌夌Н銆佸厜鍒汇鍜屽埢铓锛屽厜鍒绘槸鏈澶嶆潅銆佹渶鍏抽敭銆佹垚鏈渶楂樸佽楁椂鏈楂樼殑鐜妭锛屽埢铓鐨勬垚鏈粎娆′簬鍏夊埢锛屽洜姝鍒昏殌闅銆2銆佽杽鑶滄矇绉篃鏄繀涓嶅彲灏戠殑閲嶈宸ュ簭锛屽湪鍒堕犱腑锛屼负浜嗗疄鐜板ぇ鍨嬮泦鎴愮數璺殑鍒嗗眰缁撴瀯锛岄渶瑕佸弽澶嶈繘琛屾矇绉埢铓娌夌Н鐨勮繃绋嬶紝鍥犳鍒昏殌闅俱
  • 钖勮啘娌夌Н鍜屽埢铓鍝釜濂
    绛旓細鍒昏殌濂銆1銆侀氳繃鍒昏殌鎶鏈紝鍙互灏嗗浘褰㈢殑缁嗚妭杞Щ鍒拌姱鐗囦笂锛屼粠鑰屽疄鐜伴珮绮惧害鐨勫埗閫犮傝杽鑶滄矇绉棤娉曞疄鐜伴珮绮惧害鐨勫埗閫犮2銆佸埢铓鎶鏈彲浠ラ傜敤浜庡悇绉嶄笉鍚岀殑鏉愭枡锛屽寘鎷噾灞炪佸崐瀵间綋鍜岀粷缂樹綋绛夈傝杽鑶滄矇绉眬闄愭у緢寮轰笉鑳介傚悎鍚勭鏉愭枡銆傛墍浠ュ埢铓濂姐
  • fab鍝釜宸ヨ壓濂
    绛旓細FAB宸ヨ壓鍚勬湁浼樺娍锛岄夋嫨搴旀牴鎹叿浣撻渶姹傚拰鏉′欢鑰屽畾銆傝В閲婏細1. FAB宸ヨ壓姒傝堪 FAB鏄泦鎴愮數璺埗閫犱腑鐨勫叧閿伐鑹猴紝娑夊強钖勮啘娌夌Н銆佸厜鍒鍜屽埢铓绛夋楠ゃ傛瘡绉嶅伐鑹洪兘鏈夊叾鐙壒涔嬪锛岄夋嫨鍝宸ヨ壓鍙栧喅浜庣壒瀹氱殑鍒堕犻渶姹傚拰鏉′欢銆2. 鍚勫伐鑹虹壒鐐 钖勮啘娌夌Н宸ヨ壓锛氫富瑕佺敤浜庡湪纭呯墖涓婃矇绉墍闇鐨勬潗鏂欏眰锛屽閲戝睘灞傘佺粷缂樺眰绛夈傝繖绉...
  • pcb琛ㄩ潰澶勭悊鏈夊摢浜
    绛旓細鐢甸晙澶勭悊鏄氳繃鐢佃В浣滅敤锛屽湪PCB琛ㄩ潰娌夌Н涓灞傞噾灞钖勮啘銆傝繖灞傝杽鑶滀笉浠呭彲浠ユ彁楂楶CB鐨勫鐢垫ц兘锛岃繕鑳藉寮哄叾鑰愯厫铓鎬у拰鑰愮(鎬с備笁. 鍒昏殌銆佹矇閲戝鐞 1. 宸ヨ壓鐩殑鍙婅繃绋 鍒昏殌澶勭悊鏄负浜嗗幓闄CB琛ㄩ潰涓嶉渶瑕佺殑閾滃眰锛岄湶鍑烘墍闇鐨勭嚎璺浘妗堛傛矇閲戝鐞嗗垯鏄湪鍒昏殌鍚庣殑鍩虹涓婏紝閫氳繃鍖栧鍙嶅簲浣块噾绂诲瓙娌夌Н鍦ㄨ8闇茬殑閾滃眰涓婏紝褰...
  • 涓轰綍璇鍒昏殌宸ヨ壓鍦ㄥ井鍔犲伐宸ヨ壓涓槸蹇呬笉鍙皯鐨勬楠?
    绛旓細鍒昏殌宸ヨ壓锛涙妸鏈鎶楄殌鍓傛帺钄界殑钖勮啘灞傞櫎鍘伙紝浠庤屽湪钖勮啘涓婂緱鍒颁笌鎶楄殌鍓傝啘涓婂畬鍏ㄧ浉鍚屽浘褰㈢殑宸ヨ壓銆傚湪闆嗘垚鐢佃矾鍒堕犺繃绋嬩腑锛岀粡杩囨帺妯″鍑嗐佹洕鍏夊拰鏄惧奖锛屽湪鎶楄殌鍓傝啘涓婂鍗板嚭鎵闇鐨勫浘褰紝鎴栬呯敤鐢靛瓙鏉熺洿鎺ユ弿缁樺湪鎶楄殌鍓傝啘涓婁骇鐢熷浘褰紝鐒跺悗鎶婃鍥惧舰绮剧‘鍦拌浆绉诲埌鎶楄殌鍓備笅闈㈢殑浠嬭川钖勮啘锛堝姘у寲纭呫佹爱鍖栫銆佸鏅剁锛...
  • 鐪熺┖绂诲瓙闀鑶鍜屽埢铓鐨勫尯鍒
    绛旓細搴旂敤瀵硅薄涓嶅悓鍜岀洰鐨勫拰鏁堟灉涓嶅悓銆1銆佸簲鐢ㄥ璞′笉鍚岋細鐪熺┖绂诲瓙闀鑶滅敤浜庡湪鐗╀綋琛ㄩ潰闀瑕嗕竴灞钖勮啘锛鍒昏殌鏄皢鐗╀綋琛ㄩ潰鐨勯儴鍒嗘潗鏂欏幓闄ゃ2銆佺洰鐨勫拰鏁堟灉涓嶅悓锛氱湡绌虹瀛愰晙鑶滅殑鐩殑鏄敼鍙樼墿浣撶殑澶栬銆佹ц兘鍜屽姛鑳斤紝鎻愰珮鍏惰愯厫铓鎬с佺‖搴︾瓑鐗规э紝鍒昏殌鐨勭洰鐨勬槸鍘婚櫎鐗╀綋琛ㄩ潰鐨勬潗鏂欙紝璋冩暣灏哄銆佸舰鐘跺拰琛ㄩ潰璐ㄩ噺銆
  • NiCr钖勮啘鐨勬矇绉強鍏舵箍娉鍒昏殌
    绛旓細瀹為獙缁撴灉鏄剧ず锛屽埢铓鍚庣殑鍥惧舰绾挎潯涓庤璁¤姹傞珮搴﹀惢鍚堬紝浣嗚繃搴︽垨涓嶈冻鐨勫埢铓鍙兘瀵艰嚧鍥惧舰涓嶅钩鏁淬傜粨璇細娣卞寲鐮旂┒锛岃繄鍚戞洿绮惧瘑 NiCr钖勮啘鐨勬矇绉涓庡埢铓鏄墖寮忚杽鑶滅數闃诲櫒鐢熶骇涓殑鏍稿績鎶鏈紝娣卞害鐮旂┒杩欎簺宸ヨ壓锛屾墠鑳芥墦閫犳洿绋冲畾銆佹洿绮剧‘鐨勭數闃诲厓浠躲傛湰鏂囦粎涓哄垵姝ユ帰绱紝鏈潵杩樻湁鏇村鐨勭簿缁嗗伐鑹虹瓑寰呮妧鏈汉鍛樺幓鍙戞帢鍜屾彁鍗囥
  • 鎻鑺墖鍒堕:鍏釜姝ラ,鏁扮櫨涓宸ヨ壓
    绛旓細绱ф帴鐫锛屾哀鍖栬繃绋嬪鍚屽畧鎶や箣鐩撅紝閲囩敤骞叉硶涓庢箍娉曠殑宸紓鍖栫瓥鐣ワ紝绮剧‘鎺у埗鍦ㄦ櫠鍦嗙粨鏋勪笌璁惧鍙傛暟鐨勫井濡欏钩琛′腑銆傝屽厜鍒伙紝鍒欐槸鍐冲畾鐢佃矾绮惧害鐨勯瓟鏈笀锛屼粠鍏夊埢鑳剁殑娑傝锛屽埌EUV鏂版妧鏈殑寮曞叆锛屽啀鍒版樉褰辩殑绮剧‘鎿嶄綔锛屾瘡涓绗旈兘鍏充箮鐫鐢佃矾鐨勫井瑙備笘鐣屻傜户缁繁鍏ワ紝鍒昏殌鍜岃杽鑶娌夌Н鏄井瑙傛瀯寤虹殑鐮栫煶銆傚埢铓鎶鏈紝婀挎硶涓庡共娉...
  • 鑺墖鍒堕宸ヨ壓娴佺▼
    绛旓細鑺墖鍒堕宸ヨ壓娴佺▼涓昏鍖呮嫭鏅跺渾鍒跺銆佸厜鍒汇鍒昏殌銆佺瀛愭敞鍏ャ钖勮啘娌夌Н銆佸寲瀛︽満姊版姏鍏夈侀噾灞炲寲銆佹祴璇曞拰灏佽绛夋楠ゃ傝繖浜涙楠ょ浉浜掑叧鑱旓紝鍏卞悓纭繚鑺墖鐨勯珮璐ㄩ噺鍜屾ц兘銆傝缁 1. 鏅跺渾鍒跺锛氭櫠鍦嗘槸鑺墖鍒堕犵殑鍩虹锛屽畠鏄竴鍧楀渾褰㈢殑纭呯墖銆傚埗澶囪繃绋嬩腑锛岀鍘熸枡缁忚繃鐔斿寲銆佹彁绾佹媺鏅躲佸垏鍓茬瓑姝ラ锛屾渶缁堝緱鍒板叿鏈夌壒瀹氱洿寰勫拰...
  • 钖勮啘鍗板埛鐨勮〃闈㈠鐞嗘湁鍝簺鏂瑰紡?
    绛旓細鍥犱负杩欑澶勭悊鏂规硶瀵圭幆澧冪殑姹℃煋鏇村ぇ锛岃屼笖瀵规湁浜涘鏂钖勮啘鐨勮〃闈㈣繕浼氫镜铓閫犳垚榫熻锛屾晠鑰岄櫎瀹為獙瀹ゅ杩樻病鏈夊緱鍒板疄闄呯殑浣跨敤銆傜伀鐒板鐞嗘硶銆傛槸鐢ㄩ珮娓╃伀鐒板皢濉戞枡钖勮啘娌硅剛銆佹薄鍨㈢儳鎺夛紝鐢ㄧ伀鐒扮殑姘у寲鐒版妸濉戞枡钖勮啘琛ㄥ眰鍒嗗瓙姘у寲銆佸垎瑙o紝鐢熸垚缇熷熀绛夌殑涓嶉ケ鍜屽弻閿垨鍚哀鐨勬瀬鎬у熀鍥紝浣垮緱濉戞枡钖勮啘琛ㄩ潰鍒嗗瓙閾炬柇瑁傘佸垎瑙o紝浠庤屾敼鍙...
  • 扩展阅读:大棚塑料薄膜一亩价格 ... 薄膜分切机多少钱一台 ... 0.4mm厚聚乙烯薄膜 ... 加厚塑料薄膜价格多少 ... 排名前十薄膜生产厂家 ... 塑料薄膜多少钱一公斤 ... 手机膜排行榜第一名 ... 中国薄膜厂家排名 ... 塑料薄膜生产视频 ...

    本站交流只代表网友个人观点,与本站立场无关
    欢迎反馈与建议,请联系电邮
    2024© 车视网