真空泵有哪几种？
真空泵有真空泵气体输送泵，气体捕集泵，粗真空度，高真空度，超高真空度。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速。
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速。
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。
以上内容参考 百度百科-真空泵
真空泵根据其工作原理和结构特点可以分为以下几种：
1. 机械泵：利用机械运动将气体抽出，包括旋转叶片泵、回转式泵、滑阀泵等。
2. 分子泵：利用分子间的碰撞和反弹将气体抽出，包括扩散泵、离子泵等。
3. 吸附泵：利用吸附剂吸附气体分子将气体抽出，包括吸附式分子泵、吸附式机械泵等。
4. 蒸发泵：利用液体蒸发产生气体流动将气体抽出，包括液体氮泵、液体氦泵等。
5. 陶瓷泵：利用陶瓷材料的特殊性质将气体抽出，包括陶瓷分子泵、陶瓷机械泵等。
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