单价超26亿：ASML新一代EUV光刻机上路
芯研所5月21日消息，最新消息称，荷兰ASML正在研发新款光刻机，价值高达4亿美元(约合26亿元人民币)，双层巴士大、重超200吨。原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货。
芯研所采编
这款机器应该指的就是High-NAEXE:5200(0.55NA)，Intel是全球第一个下单的公司。所谓High-NA也就是高数值孔径，2nm之后的节点都得依赖它实现。
在ASML公布的今年一季度财报中，EXE:5200已经订出去不止一台。按计划，第一台原型试做机2023年开放，预计由imec(比利时微电子研究中心)装机，2025年后量产，第一台预计交付Intel。实际上，ASML的EUV光刻机非常庞大，现售的0.33NAEUV光刻机拥有超10万零件，需要40个海运集装箱或者4架喷气货机才能一次性运输完成，单价1.4亿美元左右。
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