光刻机是干什么用的秒懂

光刻机是利用光进行雕刻的设备,其主要作用是利用光线侵蚀光刻胶,实现电路图案的精确转移。简而言之,光刻机可以将复杂的电路图案通过透镜缩小后映射到芯片上,并通过光线作用蚀刻掉光刻胶,从而自动形成电路。光刻机结构复杂,荷兰ASML公司是目前全球最先进的光刻机制造商,其产品能够制造出5nm技术节点的芯片。
光刻机的分类主要基于操作便捷性,分为手动、半自动和全自动三种类型:
1. 手动光刻机:其对准调节需通过手动旋转旋钮来改变X轴、Y轴和θ角度,操作相对简便,但精度有限。
2. 半自动光刻机:其对准可通过电动轴根据CCD成像进行自动定位调整,提高了对准的准确性和效率。
3. 全自动光刻机:具备自动上下载基板、曝光时间控制和循环管理等功能,完全通过程序自动化运行,主要满足工厂对高处理量的需求。

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