无尘车间的安全要求
一、无尘室安全要求1. 进入无尘室前，必须通知管理人员，并通过基本训练。
2. 严禁在无尘室内吸烟、进食、携带外来杂物，并禁止嬉闹奔跑及聚集交谈。
3. 进入无尘室前，需在指定地点脱鞋，将鞋放入鞋柜，外衣放入衣柜，私人物品放入私人柜内，柜内不可放置食物。
4. 进入无尘室前，需在更衣室按规定程序穿戴口罩、无尘帽、无尘衣及鞋套，再经空气洗尘室洗尘，并踩踏除尘地毯后方可进入。
5. 戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以覆盖口鼻孔，避免呼吸时污染芯片。
6. 穿无尘衣前应先整理服装及头发，以免着装后不适。
7. 戴无尘帽时，头发必须完全覆盖在帽内，无尘帽下摆应平散于两肩之上，避免裸露肩颈部。
8. 穿无尘衣时，应注意帽下摆保持平整状态，不可反穿。
9. 穿无尘衣后，再着鞋套，拉上鞋套，确保覆盖裤管。
10. 戴手套时，避免以光手触碰手套手掌及指尖处，以防止污染。
11. 穿戴无尘衣后，经洗尘并踩踏除尘毯，方可进入无尘室。
12. 无论进入或离开无尘室，须在更衣室脱无尘衣，不可在其他区域进行，尤其不可在无尘室内边走边脱。
13. 无尘衣、鞋套等应定期清洗，有破损、脱线时，应立即更换。
14. 脱下无尘衣的顺序与穿戴时相反。
15. 脱下的无尘衣应挂好，置于更衣室内上层柜子中；鞋套应置于无尘衣下方。
16. 更衣室内小柜除规定物品外，不得放置其他物品。
17. 除规定纸张及物品外，其他物品不得携入无尘室。
18. 无尘衣等不得携出无尘室，用毕放置于规定处所。
19. 口罩与手套可视情况自行保管或重复使用。
20. 任何物品进入无尘室前，必须用酒精擦拭干净。
21. 任何设备进入无尘室，请通知管理人员，并在无尘室外擦拭干净后方可进入。
22. 未通过考核之仪器，禁止使用，紧急情况下可依紧急处理步骤适当处理，如关闭水、电、气体等开关。
23. 无尘室内严禁动火，以防意外发生。
二、无尘室操作须知
1. 处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，避免手指或其他物品接触芯片，污染过的芯片须经清洗后方可继续使用。
2. 芯片必须放置于盒中，盖好存放于规定位置，尽可能避免暴露。
3. 避免在芯片上谈话，防止唾液溅于芯片上，特别注意防止上述动作产生。
4. 从载具上取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片。
5. 芯片上若有氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。
6. 操作时，手绝不能放进清洗水槽。
7. 使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。
8. 摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中，必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。
9. 请勿触摸芯片盒内部，若被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。
10. 手套、废纸及其他杂碎东西，请勿留置于操作台，若手套烧焦、磨破或纤维质变多，必须更换。
11. 未经指示，不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。
12. 发现奇怪的味道或反应异常的溶液、颜色、声响等，请立即通知相关人员。
13. 仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。
14. 芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。
15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。
三、黄光区操作须知
1. 湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。
2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。
3. 已上妥光阻，等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒内，盒盖必须盖妥。
4. 光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤。
5. 曝光时，避免用眼睛直视曝光机汞灯。
四、镊子使用须知
1. 进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。
2. 唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其他原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。
3. 镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，不可和实验室内各站之镊子混合使用。
4. 持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。
5. 挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。
6. 挟取芯片时，"短边"（锯状头）置于芯片正面，"长边"（平头）置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。
7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。
8. 镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其他用途。
五、化学药品使用须知
1. 化学药品的进出须登记，并知会管理人员，并附上物质安全资料表（MSDS）于实验室门口。
2. 使用化学药品前，请详读物质安全资料表（MSDS），并告知管理人员。
3. 换酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸长袖手套，头戴护镜，脚着塑料防酸鞋，始可进行换酸工作。
4. 不得任意打开酸瓶的盖子，使用后立即锁紧盖子。
5. 稀释酸液时，千万记得加酸于水，绝不可加水于酸。
6. 勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品。
7. 不明容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。
8. 所有化学药品之作业均须在通风良好或排气之处进行。
9. 操作各项酸液时须详读各操作规范。
10. 酸类可与碱类共同存于有抽风设备的储柜，但绝不可与有机溶剂存放在一起。
11. 废酸请放入废酸桶，不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。
12. 废弃有机溶液置放入有机废液桶内，不可任意倾倒或倒入废酸桶内。
13. 勿任意更换容器内溶液。
14. 欲自行携入之溶液请事先告知经许可后方可携入，若溶液具有危险性时，必须经评估后方可携入，并请于容器上清楚标明容器内容物及保存期限。
15. 废液处理：废液分酸、碱、氢氟酸、有机等，分开处理并登记，回收桶标示清楚，废液桶内含氢氟酸等酸碱，绝对不可用手触碰。
16. 漏水或漏酸处理：漏水或漏酸时，为确保安全，绝对不可用手触碰，先将电源总开关与相关阀门关闭，再以无尘布或酸碱吸附器处理之，并报备管理人员。
六、化学工作站操作
1. 操作时须依规定，戴上橡皮手套及口罩。
2. 不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。
3. 添加任何溶液前，务必事先确认容器内溶剂方可添加。
4. 在化学工作站工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至化学槽及清洗槽之上方，一方面可防止危险发生，另一方面亦减少污染机会。
5. 化学站不操作时，有盖者应随时将盖盖妥，清洗水槽之水开关关上。
6. 化学药品溅到衣服
绛旓細1. 杩涘叆鏃犲皹瀹ゅ墠锛屽繀椤婚氱煡绠＄悊浜哄憳锛屽苟閫氳繃鍩烘湰璁粌銆2. 涓ョ鍦ㄦ棤灏樺鍐呭惛鐑熴佽繘椋熴佹惡甯﹀鏉ユ潅鐗锛屽苟绂佹瀣夐椆濂旇窇鍙婅仛闆嗕氦璋堛3. 杩涘叆鏃犲皹瀹ゅ墠锛岄渶鍦ㄦ寚瀹氬湴鐐硅劚闉嬶紝灏嗛瀷鏀惧叆闉嬫煖锛屽琛ｆ斁鍏ヨ。鏌滐紝绉佷汉鐗╁搧鏀惧叆绉佷汉鏌滃唴锛屾煖鍐呬笉鍙斁缃鐗┿4. 杩涘叆鏃犲皹瀹ゅ墠锛岄渶鍦ㄦ洿琛ｅ鎸夎瀹氱▼搴忕┛鎴村彛缃┿佹棤灏樺附銆...
绛旓細鎬讳箣锛鏃犲皹杞﹂棿鐨勫畨鍏ㄨ姹傚寘鎷汉鍛樺煿璁佽澶囩淮鎶ゃ佺┖姘斿噣鍖栥佷釜浜洪槻鎶ゃ佸簲鎬ュ鐞嗗拰绠＄悊鍒跺害绛夋柟闈㈢殑鍐呭銆傚伐浣滀汉鍛橀渶瑕佷弗鏍奸伒瀹堣繖浜涜瀹氬拰鎿嶄綔瑙勭▼锛岀‘淇濈敓浜ц繃绋嬬殑瀹夊叏鍜屼骇鍝佺殑璐ㄩ噺銆傚悓鏃讹紝浼佷笟涔熼渶瑕佸姞寮哄鍛樺伐鐨勫煿璁拰绠＄悊锛屾彁楂樺憳宸ョ殑瀹夊叏鎰忚瘑鍜屾搷浣滄妧鑳斤紝涓轰紒涓氱殑瀹夊叏鐢熶骇鎻愪緵鏈夊姏鐨勪繚闅溿
绛旓細1. 绌烘皵娲佸噣搴︼細鏃犲皹杞﹂棿鐨勭┖姘旀磥鍑搴﹀簲璇ヨ揪鍒颁竴瀹氱殑鏍囧噯锛屽嵆绌烘皵涓绮掔墿銆佸井鐢熺墿绛夋薄鏌撶墿鐨勫惈閲忓簲璇ユ帶鍒跺湪涓瀹氳寖鍥村唴銆傛牴鎹笉鍚岃涓氬拰浜у搧鐨勮姹傦紝绌烘皵娲佸噣搴﹀彲浠ュ垎涓轰笉鍚岀殑绛夌骇锛屽ISO 14644-1銆佺編鍥借仈閭︽爣鍑209E绛夈2. 娓╁害鍜屾箍搴锛氭棤灏樿溅闂寸殑娓╁害鍜屾箍搴﹀簲璇ユ帶鍒跺湪涓瀹氳寖鍥村唴锛屼互淇濊瘉鐢熶骇鐜鐨勭ǔ瀹...
绛旓細鍥犳锛屼汉鍛樺湪鏃犲皹杞﹂棿鐨勫尯鍩熷唴璧板姩瀹规槗浼氫骇鐢熸薄鏌撶墿鍙婄伆灏橈紝鎵浠ュ繀椤诲畾鏈熸竻娲楀尯鍩熷唴鐨勬瘡涓涓鍦版柟锛屽苟涓旇瀹氭椂妫鏌ユ満姊拌澶囩殑鎬ц兘锛屼繚璇佸伐浣滄晥鐜囧拰浜у搧鐨勮川閲忓畨鍏銆4銆佸浜庝笉鍚岀殑瀵硅薄锛屽叾瑕佹眰鐨勫熀鏈師鍒欏強绠＄悊鐨勫唴瀹逛篃鏄湁鎵涓嶅悓鐨勩鏃犲皹杞﹂棿閲岄潰鐨勬磥鍑搴﹀簲瀹氭湡鍋氭娴嬭鍔锛屼竴鑸3鍒6涓湀妫娴嬩竴娆°
绛旓細娉ㄦ剰涓锛氬湪鏃犲皹杞﹂棿瑁呬慨鏃讹紝蹇呴』娉ㄦ剰瑁呬慨鏉愭枡鐨勭噧鐑фц兘锛屽敖閲忓噺灏戜娇鐢ㄤ竴浜涢珮鍒嗗瓙鍚堟垚鏉愭枡锛屼互閬垮厤鐏伨鍙戠敓鏃朵骇鐢熷ぇ閲忕儫姘旓紝涓嶅埄浜庝汉鍛橀冪敓銆傛敞鎰忎簩锛瀵圭數姘旂嚎璺殑绌跨瑕佷弗鏍艰姹锛屽湪鏈夋潯浠剁殑鍦版柟瑕佸敖閲忎娇鐢ㄩ挗绠★紝淇濊瘉鐢垫皵绾胯矾涓嶆垚涓虹伀鐏捐敁寤剁殑閫斿緞銆傛敞鎰忎笁锛杞﹂棿鍐呰淇濇寔鐜娓呮磥锛屽悇绉嶇墿鏂欑爜鏀炬暣榻愬苟杩滅鐑簮...
绛旓細鎵嬫湳鐏佺┖姘斿噣鍖栧櫒绛夈傜幆澧瑕佹眰涓ユ牸锛氳溅闂村唴鐨勭幆澧冭姹備弗鏍硷紝濡傛俯搴︺佹箍搴︺佹皵娴佺瓑閮介渶瑕佹帶鍒跺湪涓瀹氳寖鍥村唴銆傜墿鏂欒姹備弗鏍硷細杞﹂棿鍐呯殑鐗╂枡蹇呴』鍏峰涓瀹氱殑鏃犺弻鎬ц兘鍜屾磥鍑搴︼紝濡傛棤鑿屽寘瑁呰銆佹秷姣掑墏銆佹棤鑿屾按绛夈備互涓婃槸鏃犺弻鍖荤枟鍣ㄦ鏃犲皹杞﹂棿鐨涓昏鎶鏈姹傦紝杩欎簺瑕佹眰閮芥槸涓轰簡淇濊瘉鍖荤枟鍣ㄦ鐨勬棤鑿屾у拰瀹夊叏鎬с
绛旓細鍦嗗姬澧欒銆侀棬銆佺獥妗嗙瓑涓鑸噰鐢ㄤ笓鐢ㄦ哀鍖栭摑鍨嬫潗鍒堕犲湴闈㈠彲閲囩敤鐜哀鑷祦鍦板潽鎴栭珮绾ц愮（濉戞枡鍦版澘,鏈夐槻闈欑數瑕佹眰鐨,鍙夌敤闃查潤鐢靛瀷閫佸洖椋庣閬撶敤鐑晙閿屾澘鍒舵垚,璐村噣鍖栦繚娓╂晥鏋滃ソ鐨勯樆鐕冨瀷PF鍙戞场濉戣兌鏉块珮鏁堥侀鍙ｇ敤涓嶉攬閽㈡鏋,缇庤娓呮磥,鍐插瓟缃戞澘鐢ㄧ儰婕嗛摑鏉,涓嶇敓閿堜笉绮樺皹,瀹滄竻娲佷簩銆佸竷缃柟寮鏃犲皹杞﹂棿涓鑸寘鎷:娓呮磥鍖恒佸噯娓呮磥鍖恒...
绛旓細棣栧厛锛屼负纭繚鏃犲皹杞﹂棿(鏃犲皹瀹)鍐呯殑娲佸噣搴︼紝涓嶅厑璁镐笉蹇呰鐨勭敤鍝佹惉鍏ヤ繚鏃犲皹瀹ゅ唴锛屼竴鏂归潰杩欎簺鐢ㄥ搧浼氬奖鍝嶅鍐呮皵娴佺殑绋冲畾锛屽悓鏃朵篃澧炲姞浜嗘棤灏樺鍐呯Н灏樺拰鍙戝皹鐨勫彲鑳姐傚浜庡繀 椤绘惉鍏ヤ繚鏃犲皹瀹ょ殑鐢ㄥ搧瑕佹帶鍒跺埌浣庨檺搴﹀苟涓旂疆浜庝笉褰卞搷鎴栧皯褰卞搷鐨勫湴鏂广傚叾娆★紝涓轰簡鍑忓皯鏃犲皹瀹ゅ唴鐨勫彂灏橀噺锛岀敤鍝佷竴鑸噰鐢ㄤ笉閿堥挗銆侀挗鏉块潤鐢靛柗娑...
绛旓細涓哄姞寮鏃犲皹杞﹂棿绠＄悊瑙勮寖锛屼互鎻愰珮浜у搧鍚堟牸鐜囷紝闇瑕佸埗瀹氱浉鍏宠瀹氾紝涓嬮潰鎴戠粰澶у浠嬬粛鍏充簬鐨勭浉鍏宠祫鏂欙紝甯屾湜瀵规偍鏈夋墍甯姪銆1銆佽繘鍏ユ棤灏樺浜哄憳璧勬牸 1.1缁忚缁冨悎鏍煎強涓荤绋芥牳鍚庝箣浜哄憳鏂瑰彲杩涘叆鏃犲皹瀹ゃ1.2杩涘叆鏃犲皹瀹や汉鍛橀渶閬靛畧娲佸噣瀹や箣瀹夊叏瑙勫畾銆1.3灏氭湭琚鍙箣鍛樺伐銆佸瀹鹃』杩涘叆鏃犲皹瀹よ咃紝搴斿厛閫氱煡鐢熶骇閮ㄩ棬鎴栫敱...
绛旓細浜屻佸簲杩滅閾佽矾銆佺爜澶淬侀鏈哄満銆佷氦閫氳閬撲互鍙婃暎鍙戝ぇ閲忕矇灏樺拰鏈夊姘斾綋鐨勫伐鍘傘佽串浠撶瓑鏈変弗閲嶇┖姘旀薄鏌撱佹尟鍔ㄦ垨鍣０骞叉壈鐨勫尯鍩熴備笁銆佸簲甯冪疆鍦ㄥ巶鍖哄唴鐜娓呮磥銆佷汉娴佽揣娴佷笉绌胯秺鎴栧皯绌胯秺鐨勫湴娈点傚洓銆佽繕鏈娲佸噣瀹ゆ渶澶ч鐜囬鍚戜笂椋庝晶鏈夌儫鍥辨椂锛屾磥鍑瀹や笌鐑熷洷涔嬮棿鐨勬按骞宠窛绂讳笉瀹滃皬浜庣儫鍥遍珮搴︾殑12鍊嶏紝娲佹磥鍘傛埧涓庝氦閫...
