氦检仪检漏技巧
揭秘氦检仪的精确检漏艺术在半导体和光伏行业,氦检仪作为气密性检测的神器,以其无可匹敌的灵敏度——1×10-12mbar·l/s,成为了确保产品质量的关键工具。操作简便的它,不仅能快速定位漏点,还能在空气中氦气浓度微乎其微的环境下,有效避免干扰,提供准确的数据。
在氦检仪内部,质谱仪MS的核心是复合电磁场,它犹如一台精密的氦离子探测器,前端连接分子泵,确保测试口压力越低,漏率测量精度越高。从粗检到超细检,气流的精细化控制,让氦检过程更为精确。
使用英福康的氦检仪时,进气口的KF25法兰设计,对于洁净度要求高的腔体或管道,务必采用带有4μm过滤精度的KF25中心圈,以防止尘埃污染,保护氦检仪的高灵敏度。
氦原子因其小分子量,对于普通气枪的密封性构成挑战,这时专用的细管氦气喷枪就显得尤为重要,它的密封性能优越,能精确控制气量,确保气流集中,从而精确定位漏点。
操作时,遵循一定的顺序和策略:首先,从近处开始检测,快速排出氦气,提高检漏效率;其次,高处优先,利用氦气上升的特性避免误检;再次,漏点需复检确保无误,处理时需统一回压,以提升整体效率。对于密集测试区域,薄膜包裹部分点位,能有效排除干扰。
氦检漏率的微小变化,可能源于多种原因:材料缺陷、漏点位置、腔体内水分或气体置换。内漏可能来自阀门密封不严或管壳之间的缝隙;而漏率高但喷氦处无明显变化,可能是因为腔体内的水汽或过量氦气,需要适当烘烤或置换。
进入精检模式,通过面板的“zero”键消除本底噪声,一般漏率低于1×10-12mbar·l/s。但若出现漏率波动,只要在1-2个数量级内,通常影响不大。解决本底漏率波动的策略包括:控制被测件的水分、维持适宜的环境氦气浓度,以及对多孔结构件进行氮气或氩气置换,确保检测的准确性。
总的来说,氦检仪的使用技巧在于精确操作和细致分析,只有熟练掌握这些方法,才能在微小的氦气泄漏中找出隐藏的问题,为行业的高效生产和产品质量保驾护航。
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