压力传感器的原理是什么? 压力传感器的工作原理是什么?

\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u5de5\u4f5c\u539f\u7406\u662f\u4ec0\u4e48 ?

\u4e00\u3001\u538b\u7535\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668
\u538b\u7535\u5f0f\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u4e3b\u8981\u57fa\u4e8e\u538b\u7535\u6548\u5e94\uff08Piezoelectric effect\uff09\uff0c\u5229\u7528\u7535\u6c14\u5143\u4ef6\u548c\u5176\u4ed6\u673a\u68b0\u628a\u5f85\u6d4b\u7684\u538b\u529b\u8f6c\u6362\u6210\u4e3a\u7535\u91cf\uff0c\u518d\u8fdb\u884c\u76f8\u5173\u6d4b\u91cf\u5de5\u4f5c\u7684\u6d4b\u91cf\u7cbe\u5bc6\u4eea\u5668\uff0c\u6bd4\u5982\u5f88\u591a\u538b\u529b\u53d8\u9001\u5668\u548c\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u3002\u538b\u7535\u4f20\u611f\u5668\u4e0d\u53ef\u4ee5\u5e94\u7528\u5728\u9759\u6001\u7684\u6d4b\u91cf\u5f53\u4e2d\uff0c\u539f\u56e0\u662f\u53d7\u5230\u5916\u529b\u4f5c\u7528\u540e\u7684\u7535\u8377\uff0c\u5f53\u56de\u8def\u6709\u65e0\u9650\u5927\u7684\u8f93\u5165\u6297\u963b\u7684\u65f6\u5019\uff0c\u624d\u53ef\u4ee5\u5f97\u4ee5\u4fdd\u5b58\u4e0b\u6765\u3002\u4f46\u662f\u5b9e\u9645\u4e0a\u5e76\u4e0d\u662f\u8fd9\u6837\u7684\u3002\u56e0\u6b64\u538b\u7535\u4f20\u611f\u5668\u53ea\u53ef\u4ee5\u5e94\u7528\u5728\u52a8\u6001\u7684\u6d4b\u91cf\u5f53\u4e2d\u3002\u5b83\u4e3b\u8981\u7684\u538b\u7535\u6750\u6599\u662f\uff1a\u78f7\u9178\u4e8c\u6c22\u80fa\u3001\u9152\u77f3\u9178\u94be\u94a0\u548c\u77f3\u82f1\u3002\u538b\u7535\u6548\u5e94\u5c31\u662f\u5728\u77f3\u82f1\u4e0a\u53d1\u73b0\u7684\u3002

\u5f53\u5e94\u529b\u53d1\u751f\u53d8\u5316\u7684\u65f6\u5019\uff0c\u7535\u573a\u7684\u53d8\u5316\u5f88\u5c0f\u5f88\u5c0f\uff0c\u5176\u4ed6\u7684\u4e00\u4e9b\u538b\u7535\u6676\u4f53\u5c31\u4f1a\u66ff\u4ee3\u77f3\u82f1\u3002\u9152\u77f3\u9178\u94be\u94a0\uff0c\u5b83\u662f\u5177\u6709\u5f88\u5927\u7684\u538b\u7535\u7cfb\u6570\u548c\u538b\u7535\u7075\u654f\u5ea6\u7684\uff0c\u4f46\u662f\uff0c\u5b83\u53ea\u53ef\u4ee5\u4f7f\u7528\u5728\u5ba4\u5185\u7684\u6e7f\u5ea6\u548c\u6e29\u5ea6\u90fd\u6bd4\u8f83\u4f4e\u7684\u5730\u65b9\u3002\u78f7\u9178\u4e8c\u6c22\u80fa\u662f\u4e00\u79cd\u4eba\u9020\u6676\u4f53\uff0c\u5b83\u53ef\u4ee5\u5728\u5f88\u9ad8\u7684\u6e7f\u5ea6\u548c\u5f88\u9ad8\u7684\u6e29\u5ea6\u7684\u73af\u5883\u4e2d\u4f7f\u7528\uff0c\u6240\u4ee5\uff0c\u5b83\u7684\u5e94\u7528\u662f\u975e\u5e38\u5e7f\u6cdb\u7684\u3002\u968f\u7740\u6280\u672f\u7684\u53d1\u5c55\uff0c\u538b\u7535\u6548\u5e94\u4e5f\u5df2\u7ecf\u5728\u591a\u6676\u4f53\u4e0a\u5f97\u5230\u5e94\u7528\u4e86\u3002\u4f8b\u5982\uff1a\u538b\u7535\u9676\u74f7\uff0c\u94cc\u9541\u9178\u538b\u7535\u9676\u74f7\u3001\u94cc\u9178\u76d0\u7cfb\u538b\u7535\u9676\u74f7\u548c\u949b\u9178\u94a1\u538b\u7535\u9676\u74f7\u7b49\u7b49\u90fd\u5305\u62ec\u5728\u5185\u3002

\u4ee5\u538b\u7535\u6548\u5e94\u4e3a\u5de5\u4f5c\u539f\u7406\u7684\u4f20\u611f\u5668\uff0c\u662f\u673a\u7535\u8f6c\u6362\u5f0f\u548c\u81ea\u53d1\u7535\u5f0f\u4f20\u611f\u5668\u3002\u5b83\u7684\u654f\u611f\u5143\u4ef6\u662f\u7528\u538b\u7535\u7684\u6750\u6599\u5236\u4f5c\u800c\u6210\u7684\uff0c\u800c\u5f53\u538b\u7535\u6750\u6599\u53d7\u5230\u5916\u529b\u4f5c\u7528\u7684\u65f6\u5019\uff0c\u5b83\u7684\u8868\u9762\u4f1a\u5f62\u6210\u7535\u8377\uff0c\u7535\u8377\u4f1a\u901a\u8fc7\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u3001\u6d4b\u91cf\u7535\u8def\u7684\u653e\u5927\u4ee5\u53ca\u53d8\u6362\u963b\u6297\u4ee5\u540e\uff0c\u5c31\u4f1a\u88ab\u8f6c\u6362\u6210\u4e3a\u4e0e\u6240\u53d7\u5230\u7684\u5916\u529b\u6210\u6b63\u6bd4\u5173\u7cfb\u7684\u7535\u91cf\u8f93\u51fa\u3002\u5b83\u662f\u7528\u6765\u6d4b\u91cf\u529b\u4ee5\u53ca\u53ef\u4ee5\u8f6c\u6362\u6210\u4e3a\u529b\u7684\u975e\u7535\u7269\u7406\u91cf\uff0c\u4f8b\u5982\uff1a
\u52a0\u901f\u5ea6\u548c\u538b\u529b\u3002\u5b83\u6709\u5f88\u591a\u4f18\u70b9\uff1a\u91cd\u91cf\u8f83\u8f7b\u3001\u5de5\u4f5c\u53ef\u9760\u3001\u7ed3\u6784\u5f88\u7b80\u5355\u3001\u4fe1\u566a\u6bd4\u5f88\u9ad8\u3001\u7075\u654f\u5ea6\u5f88\u9ad8\u4ee5\u53ca\u4fe1\u9891\u5bbd\u7b49\u7b49\u3002\u4f46\u662f\u5b83\u4e5f\u5b58\u5728\u7740\u67d0\u4e9b\u7f3a\u70b9\uff1a\u6709\u90e8\u5206\u7535\u538b\u6750\u6599\u5fcc\u6f6e\u6e7f\uff0c\u56e0\u6b64\u9700\u8981\u91c7\u53d6\u4e00\u7cfb\u5217\u7684\u9632\u6f6e\u63aa\u65bd\uff0c\u800c\u8f93\u51fa\u7535\u6d41\u7684\u54cd\u5e94\u53c8\u6bd4\u8f83\u5dee\uff0c\u90a3\u5c31\u8981\u4f7f\u7528\u7535\u8377\u653e\u5927\u5668\u6216\u8005\u9ad8\u8f93\u5165\u963b\u6297\u7535\u8def\u6765\u5f25\u8865\u8fd9\u4e2a\u7f3a\u70b9\uff0c\u8ba9\u4eea\u5668\u66f4\u597d\u5730\u5de5\u4f5c\u3002
\u4e8c\u3001\u538b\u963b\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668
\u538b\u963b\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u4e3b\u8981\u57fa\u4e8e\u538b\u963b\u6548\u5e94\uff08Piezoresistive effect\uff09\u3002\u538b\u963b\u6548\u5e94\u662f\u7528\u6765\u63cf\u8ff0\u6750\u6599\u5728\u53d7\u5230\u673a\u68b0\u5f0f\u5e94\u529b\u4e0b\u6240\u4ea7\u751f\u7684\u7535\u963b\u53d8\u5316\u3002\u4e0d\u540c\u4e8e\u4e0a\u8ff0\u538b\u7535\u6548\u5e94\uff0c\u538b\u963b\u6548\u5e94\u53ea\u4ea7\u751f\u963b\u6297\u53d8\u5316\uff0c\u5e76\u4e0d\u4f1a\u4ea7\u751f\u7535\u8377\u3002
\u5927\u591a\u6570\u91d1\u5c5e\u6750\u6599\u4e0e\u534a\u5bfc\u4f53\u6750\u6599\u90fd\u88ab\u53d1\u73b0\u5177\u6709\u538b\u963b\u6548\u5e94\u3002\u5176\u4e2d\u534a\u5bfc\u4f53\u6750\u6599\u4e2d\u7684\u538b\u963b\u6548\u5e94\u8fdc\u5927\u4e8e\u91d1\u5c5e\u3002\u7531\u4e8e\u7845\u662f\u73b0\u4eca\u96c6\u6210\u7535\u8def\u7684\u4e3b\u8981\uff0c\u4ee5\u7845\u5236\u4f5c\u800c\u6210\u7684\u538b\u963b\u6027\u5143\u4ef6\u7684\u5e94\u7528\u5c31\u53d8\u5f97\u975e\u5e38\u6709\u610f\u4e49\u3002\u7684\u7535\u963b\u53d8\u5316\u4e0d\u5355\u662f\u6765\u81ea\u4e0e\u5e94\u529b\u6709\u5173\u7684\u51e0\u4f55\u5f62\u53d8\uff0c\u800c\u4e14\u4e5f\u6765\u81ea\u6750\u6599\u672c\u8eab\u4e0e\u5e94\u529b\u76f8\u5173\u7684\u7535\u963b\uff0c\u8fd9\u4f7f\u5f97\u5176\u7a0b\u5ea6\u56e0\u5b50\u5927\u4e8e\u91d1\u5c5e\u6570\u767e\u500d\u4e4b\u591a\u3002N\u578b\u7845\u7684\u7535\u963b\u53d8\u5316\u4e3b\u8981\u662f\u7531\u4e8e\u5176\u4e09\u4e2a\u5bfc\u5e26\u8c37\u5bf9\u7684\u4f4d\u79fb\u6240\u9020\u6210\u4e0d\u540c\u8fc1\u79fb\u7387\u7684\u5bfc\u5e26\u8c37\u95f4\u7684\u8f7d\u5b50\u91cd\u65b0\u5206\u5e03\uff0c\u8fdb\u800c\u4f7f\u5f97\u7535\u5b50\u5728\u4e0d\u540c\u6d41\u52a8\u65b9\u5411\u4e0a\u7684\u8fc1\u79fb\u7387\u53d1\u751f\u6539\u53d8\u3002\u5176\u6b21\u662f\u7531\u4e8e\u6765\u81ea\u4e0e\u5bfc\u5e26\u8c37\u5f62\u72b6\u7684\u6539\u53d8\u76f8\u5173\u7684\u7b49\u6548\u8d28\u91cf(effective mass)\u7684\u53d8\u5316\u3002\u5728P\u578b\u7845\u4e2d\uff0c\u6b64\u73b0\u8c61\u53d8\u5f97\u66f4\u590d\u6742\uff0c\u800c\u4e14\u4e5f\u5bfc\u81f4\u7b49\u6548\u8d28\u91cf\u6539\u53d8\u53ca\u7535\u6d1e\u8f6c\u6362\u3002

\u538b\u963b\u538b\u529b\u4f20\u611f\u5668\u4e00\u822c\u901a\u8fc7\u5f15\u7ebf\u63a5\u5165\u60e0\u65af\u767b\u7535\u6865\u4e2d\u3002\u5e73\u65f6\u654f\u611f\u82af\u4f53\u6ca1\u6709\u5916\u52a0\u538b\u529b\u4f5c\u7528\uff0c\u7535\u6865\u5904\u4e8e\u5e73\u8861\u72b6\u6001\uff08\u79f0\u4e3a\u96f6\u4f4d\uff09\uff0c\u5f53\u4f20\u611f\u5668\u53d7\u538b\u540e\u82af\u7247\u7535\u963b\u53d1\u751f\u53d8\u5316\uff0c\u7535\u6865\u5c06\u5931\u53bb\u5e73\u8861\u3002\u82e5\u7ed9\u7535\u6865\u52a0\u4e00\u4e2a\u6052\u5b9a\u7535\u6d41\u6216\u7535\u538b\u7535\u6e90\uff0c\u7535\u6865\u5c06\u8f93\u51fa\u4e0e\u538b\u529b\u5bf9\u5e94\u7684\u7535\u538b\u4fe1\u53f7\uff0c\u8fd9\u6837\u4f20\u611f\u5668\u7684\u7535\u963b\u53d8\u5316\u901a\u8fc7\u7535\u6865\u8f6c\u6362\u6210\u538b\u529b\u4fe1\u53f7\u8f93\u51fa\u3002\u7535\u6865\u68c0\u6d4b\u51fa\u7535\u963b\u503c\u7684\u53d8\u5316\uff0c\u7ecf\u8fc7\u653e\u5927\u540e\uff0c\u518d\u7ecf\u8fc7\u7535\u538b\u7535\u6d41\u7684\u8f6c\u6362\uff0c\u53d8\u6362\u6210\u76f8\u5e94\u7684\u7535\u6d41\u4fe1\u53f7\uff0c\u8be5\u7535\u6d41\u4fe1\u53f7\u901a\u8fc7\u975e\u7ebf\u6027\u6821\u6b63\u73af\u8def\u7684\u8865\u507f\uff0c\u5373\u4ea7\u751f\u4e86\u8f93\u5165\u7535\u538b\u6210\u7ebf\u6027\u5bf9\u5e94\u5173\u7cfb\u76844\uff5e20mA\u7684\u6807\u51c6\u8f93\u51fa\u4fe1\u53f7\u3002
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压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,按不同测试压力类型,压力传感器可以分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。若根据结构与原理不同来划分,可分为:压阻式、压电式、电容式、应变式、振频式、光电式、超声式压力传感器等。
压力传感器的应用:
1、在液压系统中的应用:压力传感器在液压系统中主要是来完成力的闭环控制。当控制阀芯突然移动时,在极短的时间内会形成几倍于系统工作压力的尖峰压力。
2、在注塑模具中的应用:压力传感器可被安装在注塑机的喷嘴、热流道系统、冷流道系统和模具的模腔内,它能够测量出塑料在注模、充模、保压和冷却过程中从注塑机的喷嘴到模腔之间处的塑料压励。

抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递,压力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片产生微小的形变,厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接成一个惠斯通电桥(闭桥),由于压敏电阻的压阻效应,使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号,标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定,传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性,传感器自带温度补偿0~70℃,并可以和绝大多数介质直接接触。
陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40~135℃,而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度>2kV,输出信号强,长期稳定性好。高特性,低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向,在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势,在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。
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压力传感器的工作原理可以根据不同的感应元件进行分类。以下是几种常见的压力传感器原理:
压电效应原理:压电传感器利用压电材料的特性,当受到压力时,压电材料会产生电荷或电压的变化。这种变化可以通过电极接触到压电材料上,从而测量压力大小。
应变片原理:应变片传感器利用金属或半导体材料的应变特性。当受到压力时,应变片会发生变形,导致其电阻或电容发生变化。通过测量电阻或电容的变化,可以推断出受到的压力大小。
膜片原理:膜片传感器利用弹性薄膜的形变来测量压力。当受到压力时,薄膜会发生弯曲或变形,导致电阻或电容的变化。通过测量电阻或电容的变化,可以得到压力值。
液体柱原理:液体柱传感器利用液体在管道中受到压力时的高度变化来测量压力。液体柱的高度与压力成正比,通过测量液体柱的高度变化,可以得到压力值。
这些原理在压力传感器中的应用各有优缺点,选择合适的原理取决于具体的应用场景和要求。

由敏感元件、转换元件、后续处理部分组成,压力传感器一般应用应变片来实现压力的测量,应变片的制造原理是依据桥式电路,当在桥臂上的电阻满足这样的条件:R1R3=R2R4时电桥平衡,则输出的电压为零,当电阻由变化的时候,电桥不平衡,有一定的电压输出。可分为单臂电桥、双臂电桥、全臂电桥,其输出的电压与电阻的变化量成近似的线性变化。应变片是很薄的薄片,上表面镶嵌两个有电阻丝制成的电阻,同时下表面也有两个同样的电阻,在连接上形成桥式电路,当应变片上没有压力是,说出的电压为零,当有压力作用时,上边的电阻变大,下面的电阻变小,电桥不平恒,而且是相同的电阻丝,其电阻的变化量相同,输出的电压与电阻的变化量成线性关系,这样通过求压力就可以测量出压力的大小。

原理是利用压电效应制造而成

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