你认为氦检漏的工作原理是什么？
真空箱氦检漏，根据氦检漏的基本检漏原理，用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
操作者把工件放在真空箱内，将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接，在真空箱门关闭后，系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。
工艺流程编辑
A1：安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空，同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测；
B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止；
B2：若A1检测通过，放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式，微漏检测；
C1：若B2检测不通过，则系统报警-----循环检，小漏工件序号显示------检测程序中止；
C2：若B2检测通过，真空箱内充入大气，同时工件内氦气回收-------真空箱开门，检测完成。
系统特征及优点编辑
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
一、为什么要检漏：
泄漏和密封相对应
很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。
二、泄漏程度的量化：
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦检漏基本工作原理：用氦气作为示踪气体，在真空箱内将氦气充入工件，然后通过氦检漏仪能高精度，迅速准确判断工件的泄漏情况。基本操作：操作工将工件放在真空箱内，真空箱与工件自动密封，系统可自动完成大漏检测、抽真空充氦、检漏、回收整个过程，生产节拍快，检漏精度高。精度可达5*10-12mbr.L/S 。
氦气检漏仪的工作原理：
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.
析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；
在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示踪气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦检漏的工作原理主要是基于氦气的特殊物理性质。首先，氦气的密度比空气大，且不与任何物质发生化学反应，这使得它成为检漏的理想气体。
在进行氦检漏时，通常会将一定量的氦气注入被检测物体（如管道或容器）内部。然后，如果物体存在泄漏，氦气便会通过泄漏点溢出，进入周围环境中。
接下来，使用专门的检测仪器（如氦质谱仪）来检测周围环境中的氦气浓度。由于氦气的分子非常小，它能够穿过非常小的漏洞或裂缝，因此即使是很小的泄漏也能被检测到。
当检测仪器探测到氦气的存在时，它会将氦气浓度变化转化为电信号，并进一步分析和处理这些信号。通过分析电信号的变化，可以确定泄漏点的位置和大小。
需要注意的是，氦检漏需要由专业人员进行操作，并且在操作过程中要注意安全，以避免因操作不当导致的潜在风险。
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