你认为氦检漏的工作原理是什么?
真空箱氦检漏,根据氦检漏的基本检漏原理,用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度、迅速准确的判断工件的泄露情况。
操作者把工件放在真空箱内,将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接,在真空箱门关闭后,系统能全自动的完成大漏检测、工件强度检测、抽空、充氦、检漏、回收整个过程,生产节拍快,检漏精度高。
工艺流程编辑
A1:安装工件-----关真空箱门-----真空箱抽真空,同时工件内充高压氮气-----大漏及强度检测;
B1:若A1检测不通过,则系统报警,大漏工件序号显示-----检测程序中止;
B2:若A1检测通过,放掉氮气------对工件抽真空------真空箱内的氦气本底抑零-----工件内充入氦气-------真空模式,微漏检测;
C1:若B2检测不通过,则系统报警-----循环检,小漏工件序号显示------检测程序中止;
C2:若B2检测通过,真空箱内充入大气,同时工件内氦气回收-------真空箱开门,检测完成。
系统特征及优点编辑
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、高精度。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
一、为什么要检漏:
泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
二、泄漏程度的量化:
氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦检漏基本工作原理:用氦气作为示踪气体,在真空箱内将氦气充入工件,然后通过氦检漏仪能高精度,迅速准确判断工件的泄漏情况。基本操作:操作工将工件放在真空箱内,真空箱与工件自动密封,系统可自动完成大漏检测、抽真空充氦、检漏、回收整个过程,生产节拍快,检漏精度高。精度可达5*10-12mbr.L/S 。
氦气检漏仪的工作原理:
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.
析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;
在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示踪气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进人磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦检漏的工作原理主要是基于氦气的特殊物理性质。首先,氦气的密度比空气大,且不与任何物质发生化学反应,这使得它成为检漏的理想气体。
在进行氦检漏时,通常会将一定量的氦气注入被检测物体(如管道或容器)内部。然后,如果物体存在泄漏,氦气便会通过泄漏点溢出,进入周围环境中。
接下来,使用专门的检测仪器(如氦质谱仪)来检测周围环境中的氦气浓度。由于氦气的分子非常小,它能够穿过非常小的漏洞或裂缝,因此即使是很小的泄漏也能被检测到。
当检测仪器探测到氦气的存在时,它会将氦气浓度变化转化为电信号,并进一步分析和处理这些信号。通过分析电信号的变化,可以确定泄漏点的位置和大小。
需要注意的是,氦检漏需要由专业人员进行操作,并且在操作过程中要注意安全,以避免因操作不当导致的潜在风险。
绛旓細姘︽婕忕殑鍘熺悊鏄埄鐢ㄦ唉姘旇繘琛屾娴嬶紝浠ュ彂鐜扮郴缁熶腑鐨勬硠婕忕偣銆傚師鐞嗕粙缁 姘︽婕忔槸涓绉嶅父鐢ㄧ殑妫娴嬫墜娈碉紝灏ゅ叾鍦ㄤ竴浜涢渶瑕侀珮瀵嗗皝鎬х殑宸ヤ笟棰嗗煙锛屽鍒跺喎銆佺┖璋冦佹苯杞︾瓑琛屼笟涓緱鍒颁簡骞挎硾鐨勫簲鐢ㄣ傛唉姘斿洜鍏剁壒娈婄殑鐗╃悊灞炴э紝鎴愪负妫娴嬫硠婕忕殑鐞嗘兂浠嬭川銆傚叾鍘熺悊鏄氳繃鍚戣妫娴嬪璞″厖鍏ヤ竴瀹氶噺鐨勬唉姘旓紝鍊熷姪涓撻棬鐨勬娴嬩华鍣紝鏉ユ崟鎹...
绛旓細姘︽婕忓師鐞嗕富瑕佹槸鍩轰簬姘︽皵鐨勭壒娈婃ц川锛屽嵆姘︽皵鏄竴绉嶇█鏈夋皵浣擄紝鍏锋湁鏋佸皬鐨勫師瀛愬昂瀵搞佷綆鐨勭儹瀵肩巼鍜岃壇濂界殑鎵╂暎鎬э紝鍥犳鑳藉绌块忓井灏忕殑婕忔礊銆傚湪妫婕忚繃绋嬩腑锛屾唉姘旇鍏呭叆琚娴嬬殑绯荤粺鎴栭儴浠朵腑锛屽鏋滅郴缁熸垨閮ㄤ欢瀛樺湪娉勬紡锛屾唉姘斾細闅忕潃婕忔礊閫稿嚭銆傞氳繃浣跨敤姘︽皵妫娴嬪櫒锛屽彲浠ユ娴嬪埌閫稿嚭鐨勬唉姘旓紝浠庤岀‘瀹氭紡娲炵殑瀛樺湪鍜屼綅缃
绛旓細鐪熺┖绠辨唉妫婕忥紝鏍规嵁姘︽婕忕殑鍩烘湰妫婕忓師鐞嗭紝鐢ㄦ唉姘斾綔涓虹ず韪皵浣擄紝鍦ㄧ湡绌虹鍐呭皢姘︽皵鍏呭叆宸ヤ欢锛岀劧鍚庨氳繃姘︽婕忎华鑳介珮绮惧害銆佽繀閫熷噯纭殑鍒ゆ柇宸ヤ欢鐨勬硠闇叉儏鍐銆傛搷浣滆呮妸宸ヤ欢鏀惧湪鐪熺┖绠卞唴锛屽皢宸ヤ欢鎺ュ彛涓庣湡绌虹鍐呯殑蹇熸帴澶磋繘琛岃繛鎺ワ紝鍦ㄧ湡绌虹闂ㄥ叧闂悗锛岀郴缁熻兘鍏ㄨ嚜鍔ㄧ殑瀹屾垚澶ф紡妫娴嬨佸伐浠跺己搴︽娴嬨佹娊绌恒佸厖姘︺佹婕...
绛旓細姘﹁川璋辨婕忎华鍘熺悊鏄熀浜庢唉姘斾綔涓虹ず韪皵浣擄紝鍒╃敤璐ㄨ氨鍒嗘瀽鎶鏈潵妫娴嬪拰瀹氫綅娉勬紡鐐銆傞鍏堬紝姘︽皵鍥犲叾鐙壒鐨勬ц川鍦ㄦ婕忔妧鏈腑鍗犳嵁閲嶈鍦颁綅銆傛唉姘旀槸涓绉嶇█鏈夋皵浣擄紝鍦ㄧ┖姘斾腑鐨勫惈閲忔瀬浣庯紝涓斿叿鏈夊緢灏忕殑鍘熷瓙鍗婂緞鍜屾瀬楂樼殑鎵╂暎閫熷害銆傝繖浜涚壒鎬т娇寰楁唉姘旀瀬鏄撻氳繃寰皬鐨勬硠婕忕偣锛屽洜姝ゆ垚涓虹悊鎯崇殑绀鸿釜姘斾綋銆傚湪妫婕忚繃绋嬩腑锛屽皢姘︽皵...
绛旓細姘﹁川璋辨婕忎华锛氬師鐞嗗叾瀹炴妸姘︽皵鍒嗗瓙鐢电鍚庝粠闃存瀬灏勭嚎鎵撳嚭鏉锛岃窡CRT涓鏍凤紝杩涘叆涓涓浉浜掑瀭鐩寸殑鐢点佺鍦猴紝閫氳繃姘﹀師瀛愬亸杞潵娴嬭瘯婕忕巼鐨勶紝鍗曚綅鏄笗绔嬫柟绫虫瘡绉掋傛婕忎华涓鑸噰鐢ㄥ痉鍥借嫳绂忓悍鐨勩
绛旓細姘︽皵妫婕忕殑宸ヤ綔娴佺▼鏄細灏嗘婕忕墿缃簬妫婕忓鍐呫備娇鐢ㄧ湡绌烘车鎶界┖妫婕忓銆傚悜妫婕忓鍐呮敞鍏ユ唉姘斿缓绔嬩竴瀹氬帇鍔涖傚叧闂唉姘斾緵搴旓紝瑙傚療鍘嬪姏鍙樺寲銆傚鏋滄婕忓鍘嬪姏涓嬮檷锛岃鏄庢婕忕墿鍙戠敓娉勬紡銆傞氳繃鏀堕泦瀹ゅ唴姘︽皵鏍锋湰锛岃繘琛屽垎鏋愮‘璁ゆ硠婕忕偣銆傚湪姝よ繃绋嬩腑锛屾婕忓闇瑕佸厛鎶界湡绌猴紝浠ユ竻闄ゅ鍐呮畫鐣欑殑鍏朵粬姘斾綋锛岃繖灏辨秹鍙婂埌娓呴櫎姘斾綋鐨勪娇鐢...
绛旓細(1)宸ヤ綔鍘熺悊涓庣粨鏋姘璐ㄨ氨妫婕浠敱绂诲瓙婧愩佸垎鏋愬櫒銆佹敹闆嗗櫒銆佸喎闃存瀬鐢电瑙勭粍鎴愮殑璐ㄨ氨瀹ゅ拰鎶芥皵绯荤粺鍙婄數姘旈儴鍒嗙瓑缁勬垚銆傗憼鍗曠骇纾佸亸杞瀷姘﹁川璋辨婕忎华鐜颁互HZJ鈥攍鍨嬩华鍣ㄤ负渚嬶紟浠嬬粛鍗曠骇纾佸亸杞瀷姘﹁川璋辨婕忎华锛屽叾缁撴瀯濡傚浘2鎵绀恒傚湪璐ㄨ氨瀹ゅ唴鏈夛細鐢辩伅涓濄佺鍖栧銆佺瀛愬姞閫熸瀬缁勬垚绂诲瓙婧愶紱鐢卞鍔犲潎鍖纾佸満銆佹尅鏉垮強...
绛旓細姘﹁川璋妫婕浠宸ヤ綔鍘熺悊 鍥1鏄竴涓吀鍨嬭川璋卞鐨勫墫闈㈠浘,鐏笣鐢电鍑烘潵鐨勭數瀛愮粡鍔犻熻繘鍏ョ數绂诲,鍦ㄧ數绂诲鍐呬笌娈嬩綑姘斾綋鍒嗗瓙鍜岀粡琚浠舵紡瀛旇繘鍏ョ數绂诲鐨姘︽皵鐩镐簰纰版挒,浣挎唉鍒嗗瓙鍙戠敓鐢电,He 鈫扝e++e 銆傚浘1 銆璐ㄨ氨瀹ゅ伐浣滃師鐞 杩欎簺绂诲瓙鍦ㄥ姞閫熺數鍦虹殑浣滅敤涓嬭繘鍏ョ鍦,鐢辨礇浼﹀吂鍔涗娇寰楁唉绂诲瓙鍙戠敓鍋忚浆,褰㈡垚鍦嗗姬褰㈣建閬,...
绛旓細姘﹁川璋妫婕浠槸涓绉嶅己澶х殑姘斾綋娉勬紡妫娴嬪伐鍏凤紝涓撲负鐪熺┖鎴栧瘑灏佽澶囪璁°傚畠鐨勬牳蹇冨姛鑳藉湪浜庨氳繃娉ㄥ叆姘︽皵骞跺埄鐢ㄨ川璋辨妧鏈潵鎺㈡祴寰皬鐨勬皵浣撴硠闇层傛唉姘斿洜鍏跺皬鍒嗗瓙灏哄鍜屼綆婧惰В鎬э紝鑳借繀閫熸笚閫忚繘绯荤粺涓殑瑁傜紳鎴栧井瀛旓紝闅忓悗鍦ㄨ川璋变华鐨勯珮鐏垫晱搴︽娴嬪櫒涓鎹曟崏銆傝川璋变华鐨勫伐浣滃師鐞濡傚悓涓涓簿瀵嗙殑姘斾綋浼犳劅鍣紝鑳藉鎹曟崏鍒版瀬...
绛旓細姘﹁川璋妫婕浠師鐞嗗強搴旂敤鏂规硶姒傝姘﹁川璋辨婕忎华锛屽嚟鍊熷叾鎯版ф皵浣姘︾殑鐗规э紝濡傛棤姹℃煋銆佸畨鍏ㄣ佷綆绮樺害锛屽凡鎴愪负鐪熺┖妫婕忛鍩熶腑鐏垫晱搴︽渶楂樸佸簲鐢ㄥ箍娉涚殑浠櫒銆傚畠鐢辩瀛愭簮銆佸垎鏋愬櫒绛夋瀯鎴愶紝宸ヤ綔鍘熺悊鍩轰簬涓嶅悓璐ㄩ噺绂诲瓙鍦ㄧ鍦轰腑鐨勫亸杞紝閫氳繃璐ㄨ嵎姣旂殑宸紓杩涜妫娴嬨傚叾鍩烘湰鍘熺悊鍒╃敤鐢电鍚庣殑姘︾瀛愬湪纾佸満涓舰鎴愪笉鍚屽崐寰勭殑...