真空箱的氦气检漏原理是什么 为什么用氦气作为检漏的气体
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氦检漏仪，也称为质谱检漏仪（MSLD），用于定位和测量进入或离开系统或容器设备的泄漏。将示踪气体氦气引入与检漏仪连接的测试部分。氦气通过测试部件泄漏进入系统，测量分压并显示在压力表上。
真空箱的氦气检漏是采用背压法对被检工件进行漏率检测，并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内，充入一定压强的氮气，作耐压测试，通过保压判断压降确定是否有大漏；然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，真空箱与检漏仪的检漏口相接，若被检工件有泄漏，则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。
最好能详细说明一下你的具体情况
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