蚀刻加工时间如何计算？ 蚀刻加工工艺分哪些步骤
\u91d1\u5c5e\u8680\u523b\u52a0\u5de5\u600e\u4e48\u7b97\u6210\u672c\uff1f\u5982\u4f55\u62a5\u4ef7\uff1f\u4e0d\u540c\u7684\u4f01\u4e1a\uff0c\u7531\u4e8e\u751f\u4ea7\u7684\u5de5\u827a\u8fc7\u7a0b\u3001\u751f\u4ea7\u7ec4\u7ec7\uff0c\u4ee5\u53ca\u6210\u672c\u7ba1\u7406\u8981\u6c42\u4e0d\u540c\uff0c\u6210\u672c\u8ba1\u7b97\u7684\u65b9\u6cd5\u4e5f\u4e0d--\u6837\u3002\u4e0d\u540c\u6210\u672c\u8ba1\u7b97\u65b9\u6cd5\u7684\u533a\u522b\u4e3b\u8981\u8868\u73b0\u5728\u4e09\u4e2a\u65b9\u9762\uff1a\u4e00\u662f\u6210\u672c\u8ba1\u7b97\u5bf9\u8c61\u4e0d\u540c\u3002\u4e8c \u662f\u6210\u672c\u8ba1\u7b97\u671f\u4e0d\u540c\u3002\u4e09\u662f\u751f\u4ea7\u8d39\u7528\u5728\u4ea7\u6210\u54c1\u548c\u534a\u6210\u54c1\u4e4b\u95f4\u7684\u5206\u914d\u60c5\u51b5\u4e0d\u540c\u3002\u5e38\u7528\u7684\u6210\u672c\u8ba1\u7b97\u65b9\u6cd5\u4e3b\u8981\u6709\u54c1\u79cd\u6cd5\u3001\u5206\u6279\u6cd5\u548c\u5206\u6b65\u6cd5\u3002
\u4e94\u91d1\u8680\u523b\u5de5\u827a\u6d41\u7a0b\uff1a
1.\u524d\u5904\u7406--\u55b7\u6cb9\uff08\u6d82\u6cb9\uff09--\u66dd\u5149--\u663e\u5f71--\u8865\u6cb9--\u8680\u523b--\u8131\u819c\uff08\u6e05\u6d17\uff09--\u5305\u88c5
2.\u524d\u5904\u7406--\u55b7\u6cb9\u6216\u7535\u6cf3--\u956d\u5c04--\u8865\u6cb9--\u8680\u523b--\u8131\u819c\uff08\u6e05\u6d17\uff09--\u5305\u88c5
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