光刻机的品牌 请问哪些品牌光刻机性价比好？
\u4e16\u754c\u4e0a\u80fd\u505a\u51fa\u9ad8\u7aef\u5149\u523b\u673a\u7684\u56fd\u5bb6\u6709\u54ea\u4e9b\u80fd\u5236\u9020\u9ad8\u7aef\u5149\u523b\u673a\u7684\u53ea\u6709\u8377\u5170ASML\uff08\u955c\u5934\u6765\u81ea\u5fb7\u56fd\uff09\uff0c\u65e5\u672cNikon\uff08intel\u66fe\u7ecf\u8d2d\u4e70\u8fc7Nikon\u7684\u9ad8\u7aef\u5149\u523b\u673a\uff09\u548c\u65e5\u672cCanon\u4e09\u5927\u54c1\u724c\u4e3a\u4e3b\u3002
\u9ad8\u7aef\u5149\u523b\u673a\u53f7\u79f0\u4e16\u754c\u4e0a\u6700\u7cbe\u5bc6\u7684\u4eea\u5668\uff0c\u4e16\u754c\u4e0a\u5df2\u67097000\u4e07\u7f8e\u91d1\u7684\u5149\u523b\u673a\u3002\u9ad8\u7aef\u5149\u523b\u673a\u582a\u79f0\u73b0\u4ee3\u5149\u5b66\u5de5\u4e1a\u4e4b\u82b1\uff0c\u5176\u5236\u9020\u96be\u5ea6\u4e4b\u5927\uff0c\u5168\u4e16\u754c\u53ea\u6709\u5c11\u6570\u51e0\u5bb6\u516c\u53f8\u80fd\u591f\u5236\u9020\u3002
\u62d3\u5c55\u8d44\u6599\uff1a
\u5149\u523b\u673a\u79cd\u7c7b
\u4e00\u3001\u63a5\u89e6\u5f0f\u66dd\u5149\uff08Contact Printing\uff09\uff1a\u63a9\u819c\u677f\u76f4\u63a5\u4e0e\u5149\u523b\u80f6\u5c42\u63a5\u89e6\u3002\u66dd\u5149\u51fa\u6765\u7684\u56fe\u5f62\u4e0e\u63a9\u819c\u677f\u4e0a\u7684\u56fe\u5f62\u5206\u8fa8\u7387\u76f8\u5f53\uff0c\u8bbe\u5907\u7b80\u5355\u3002\u63a5\u89e6\u5f0f\uff0c\u6839\u636e\u65bd\u52a0\u529b\u91cf\u7684\u65b9\u5f0f\u4e0d\u540c\u53c8\u5206\u4e3a\uff1a\u8f6f\u63a5\u89e6\uff0c\u786c\u63a5\u89e6\u548c\u771f\u7a7a\u63a5\u89e6\u3002
1\u3001\u8f6f\u63a5\u89e6 \u5c31\u662f\u628a\u57fa\u7247\u901a\u8fc7\u6258\u76d8\u5438\u9644\u4f4f\uff08\u7c7b\u4f3c\u4e8e\u5300\u80f6\u673a\u7684\u57fa\u7247\u653e\u7f6e\u65b9\u5f0f\uff09\uff0c\u63a9\u819c\u76d6\u5728\u57fa\u7247\u4e0a\u9762\uff1b
2\u3001\u786c\u63a5\u89e6 \u662f\u5c06\u57fa\u7247\u901a\u8fc7\u4e00\u4e2a\u6c14\u538b\uff08\u6c2e\u6c14\uff09\uff0c\u5f80\u4e0a\u9876\uff0c\u4f7f\u4e4b\u4e0e\u63a9\u819c\u63a5\u89e6\uff1b
3\u3001\u771f\u7a7a\u63a5\u89e6 \u662f\u5728\u63a9\u819c\u548c\u57fa\u7247\u4e2d\u95f4\u62bd\u6c14\uff0c\u4f7f\u4e4b\u66f4\u52a0\u597d\u7684\u8d34\u5408\uff08\u60f3\u4e00\u60f3\u628a\u88ab\u5b50\u62bd\u771f\u7a7a\u653e\u7f6e\u7684\u65b9\u5f0f\uff09
\u4e8c\u3001\u63a5\u8fd1\u5f0f\u66dd\u5149\uff08Proximity Printing\uff09:\u63a9\u819c\u677f\u4e0e\u5149\u523b\u80f6\u57fa\u5e95\u5c42\u4fdd\u7559\u4e00\u4e2a\u5fae\u5c0f\u7684\u7f1d\u9699\uff08Gap\uff09\uff0cGap\u5927\u7ea6\u4e3a0\uff5e200\u03bcm\u3002\u53ef\u4ee5\u6709\u6548\u907f\u514d\u4e0e\u5149\u523b\u80f6\u76f4\u63a5\u63a5\u89e6\u800c\u5f15\u8d77\u7684\u63a9\u819c\u677f\u635f\u4f24\uff0c\u4f7f\u63a9\u819c\u548c\u5149\u523b\u80f6\u57fa\u5e95\u80fd\u8010\u4e45\u4f7f\u7528\uff1b\u63a9\u6a21\u5bff\u547d\u957f\uff08\u53ef\u63d0\u9ad810 \u500d\u4ee5\u4e0a\uff09\uff0c\u56fe\u5f62\u7f3a\u9677\u5c11\u3002\u63a5\u8fd1\u5f0f\u5728\u73b0\u4ee3\u5149\u523b\u5de5\u827a\u4e2d\u5e94\u7528\u6700\u4e3a\u5e7f\u6cdb\u3002
\u4e09\u3001\u6295\u5f71\u5f0f\u66dd\u5149\uff08Projection Printing\uff09:\u5728\u63a9\u819c\u677f\u4e0e\u5149\u523b\u80f6\u4e4b\u95f4\u4f7f\u7528\u5149\u5b66\u7cfb\u7edf\u805a\u96c6\u5149\u5b9e\u73b0\u66dd\u5149\u3002\u4e00\u822c\u63a9\u819c\u677f\u7684\u5c3a\u5bf8\u4f1a\u4ee5\u9700\u8981\u8f6c\u79fb\u56fe\u5f62\u76844\u500d\u5236\u4f5c\u3002\u4f18\u70b9\uff1a\u63d0\u9ad8\u4e86\u5206\u8fa8\u7387\uff1b\u63a9\u819c\u677f\u7684\u5236\u4f5c\u66f4\u52a0\u5bb9\u6613\uff1b\u63a9\u819c\u677f\u4e0a\u7684\u7f3a\u9677\u5f71\u54cd\u51cf\u5c0f\u3002
\u5149\u523b\u673a\u2014\u2014\u767e\u5ea6\u767e\u79d1
\u4f60\u4eec\u8981\u5149\u523b\u673a\u662f\u7528\u4e8e\u79d1\u7814\uff0c\u5c0f\u89c4\u6a21\u751f\u4ea7\u7684\uff1fSUSS\uff0cMYCRO NXQ\u7684\uff0c\u6216\u8005ABM\u7684\u90fd\u633a\u597d\u7684\uff0cSUSS\u5149\u523b\u673a\u5f88\u597d\uff0c\u53ea\u662f\u4ef7\u683c\u592a\u8d35\uff0c\u6211\u8ba4\u8bc6\u7684\u4e00\u4e9b\u7269\u7406\u5b9e\u9a8c\u5ba4\u7528MYCRO NXQ\u7684
光刻机的品牌众多，根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类：
高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML（镜头来自德国），日本Nikon（intel曾经购买过Nikon的高端光刻机）和日本Canon三大品牌为主。
位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售。目前正在进行其他各系列产品的研发制作工作。
生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。
绛旓細1. ASML锛堥樋鏂害锛夛細闃挎柉楹︽槸鍏ㄧ悆鏈澶х殑鍏夊埢鏈哄埗閫犲晢锛屾婚儴浣嶄簬鑽峰叞銆傚叾鍏夊埢鏈哄湪鑺墖鍒堕犻鍩熷崰鎹富瀵煎湴浣嶏紝涓哄叏鐞冨瀹跺崐瀵间綋浼佷笟鎻愪緵鍏堣繘鐨勫厜鍒绘妧鏈2. Nikon锛堝凹搴凤級锛氬凹搴锋槸鏃ユ湰鐨勪竴瀹剁煡鍚嶅厜鍒绘満鍒堕犲晢锛屽湪楂樼鍒剁▼棰嗗煙鍏锋湁閲嶈鍦颁綅銆傚叾鍏夊埢鏈轰骇鍝佷互浼樼鐨勫垎杈ㄧ巼鍜岀ǔ瀹氭ц憲绉帮紝閫傜敤浜庡绉嶈姱鐗囧埗閫犻渶...
绛旓細鍥介檯鐭ュ悕鍝佺墝涓昏鍖呮嫭鑽峰叞鐨凙SML銆佹棩鏈殑Nikon鍜孋anon锛岃繖涓変釜鍝佺墝鍦ㄨ繖涓棰嗗煙鍗犳嵁涓诲鍦颁綅銆傛垜鍥界殑SMEE宸茬粡鎴愬姛鐮斿彂鍑哄叿鏈夎嚜涓荤煡璇嗕骇鏉冪殑鎶曞奖寮忓厜鍒绘満锛屽苟褰㈡垚浜嗗畬鏁寸殑浜у搧绯诲垪锛屾垚鍔熷疄鐜颁簡鍥藉唴澶栧競鍦虹殑閿鍞傚湪浣庣甯傚満锛岀敓浜х嚎鍜岀爺鍙戝伐浣滃父鐢ㄧ殑鍒欐槸鎺ヨ繎鍜屾帴瑙﹀紡鍏夊埢鏈猴紝鍏跺垎杈ㄧ巼閫氬父鍦ㄦ暟寰背浠ヤ笂銆傚痉鍥界殑SUS...
绛旓細鍏夊埢鏈鸿涓氱殑鍞竴涓婂競鍏徃鏄紶姹熼珮绉戝叕鍙銆傚厜鍒绘満锛屼篃绉颁负鎺╂ā瀵瑰噯鏇濆厜鏈恒佹洕鍏夌郴缁熸垨鍏夊埢绯荤粺锛屾槸鑺墖鍒堕犺繃绋嬩腑鐨勬牳蹇冭澶囥傚畠鍒╃敤绫讳技浜庣収鐗囧啿鍗扮殑鎶鏈紝灏嗘帺鑶滅増涓婄殑绮剧粏鍥炬閫氳繃鏇濆厜杩囩▼杞Щ鍒扮鐗囦笂銆傚厜鍒绘満甯傚満鍝佺墝浼楀锛屾牴鎹妧鏈矾绾跨殑涓嶅悓锛屽彲浠ュ垎涓哄嚑涓富瑕佺被鍒細1. 楂樼鎶曞奖寮忓厜鍒绘満鍒嗕负姝ヨ繘...
绛旓細鍗庝负鐨勫厜鍒绘満鍦ㄤ腑鍥銆傛嫇灞曠煡璇嗭細鍗庝负鎶鏈湁闄愬叕鍙革紝鎴愮珛浜1987骞达紝鎬婚儴浣嶄簬骞夸笢鐪佹繁鍦冲競榫欏矖鍖恒 2021骞达紝鍗庝负鍏徃鐨勬绘敹鍏ヤ负6368浜垮厓锛屽噣鍒╂鼎杈惧埌1137浜垮厓銆傚崕涓烘槸鍏ㄧ悆棰嗗厛鐨勪俊鎭笌閫氫俊鎶鏈紙ICT锛夎В鍐虫柟妗堜緵搴斿晢锛屼笓娉ㄤ簬ICT棰嗗煙锛屽潥鎸佺ǔ鍋ョ粡钀ャ佹寔缁垱鏂般佸紑鏀惧悎浣滐紝鍦ㄧ數淇¤繍钀ュ晢銆佷紒涓氥佺粓绔拰浜戣绠楃瓑棰...
绛旓細鍙扮Н鐢垫墍浣跨敤鐨勫厜鍒绘満涓昏鏉ヨ嚜鑽峰叞ASML鍏徃銆傛嵁濯掍綋鎶ラ亾锛屽彴绉數涓哄寮鸿嚜韬妧鏈疄鍔涳紝浠庤嵎鍏癆SML鍏徃寮曡繘浜55鍙板厜鍒绘満銆傝嵎鍏癆SML鍏徃鏄叏鐞冨厜鍒绘満琛屼笟鐨勯瀵艰咃紝浣嗗叾璁稿鏍稿績鎶鏈緷璧栦簬娆ф床鍜岀編鍥界殑鐩稿叧绉戞妧鍏徃锛岃繖浣垮緱鍏朵骇鍝佸湪涓浗甯傚満鐨勯攢鍞彈鍒伴檺鍒躲傚彴绉數鐢变簬鍏跺己澶х殑缇庡浗鑳屾櫙浠ュ強瀵笰SML鍏徃鐨勫巻鍙插府鍔╋紝...
绛旓細鍏夊埢鏈烘槸鐢熶骇澶ц妯￠泦鎴愮數璺殑鏍稿績璁惧锛屽埗閫犲拰缁存姢闇瑕侀珮搴︾殑鍏夊鍜岀數瀛愬伐涓氬熀纭锛屼笘鐣屼笂鍙湁灏戞暟鍘傚鎺屾彙銆傚浗澶栧搧鐗屼富瑕佷互鑽峰叞ASML锛堥暅澶存潵鑷痉鍥斤級锛屾棩鏈琋ikon锛坕ntel鏇剧粡璐拱杩嘚ikon鐨勯珮绔厜鍒绘満锛夊拰鏃ユ湰Canon涓夊ぇ鍝佺墝涓轰富銆傚叾涓嵎鍏板叕鍙窤SML涓轰笅涓浠UV鍏夊埢绯诲垪鐨勫敮涓渚涘簲鍟嗭紝鍦ㄥ崐瀵间綋浠峰奸摼涓叿鏈夊己澶у湴浣...
绛旓細鍥藉鍝佺墝涓昏浠鑽峰叞ASML锛堥暅澶存潵鑷痉鍥斤級锛屾棩鏈琋ikon锛坕ntel鏇剧粡璐拱杩嘚ikon鐨勯珮绔厜鍒绘満锛夊拰鏃ユ湰Canon涓夊ぇ鍝佺墝涓轰富銆備綅浜庢垜鍥戒笂娴风殑SMEE宸茬爺鍒跺嚭鍏锋湁鑷富鐭ヨ瘑浜ф潈鐨勬姇褰卞紡涓鍏夊埢鏈猴紝褰㈡垚浜у搧绯诲垪鍒濇瀹炵幇娴峰唴澶栭攢鍞傛鍦ㄨ繘琛屽叾浠栧悇绯诲垪浜у搧鐨勭爺鍙戝埗浣滃伐浣溿傜敓浜х嚎鍜岀爺鍙戠敤鐨勪綆绔厜鍒绘満涓烘帴杩戙佹帴瑙﹀紡鍏夊埢鏈...
绛旓細1銆佸紶姹熼珮绉 涓婃捣娴︿笢鏂板尯鐩村睘鍥芥湁鎺ц偂涓婂競鍏徃锛屽煿鑲插鍖栦簡鍞嵎鍒涜姱銆佽嫳闆嗚姱銆佽禌寰井鐢靛瓙銆佷簯浠庣鎶銆佺泭鏂圭敓鐗╁拰鑱斿奖鍖荤枟绛夌鍒涙澘涓婂競鍏徃銆傚悓鏃讹紝鍏徃鎸佹湁鍥戒骇楂樼鍏夊埢鏈浼佷笟涓婃捣寰數瀛10.779%鐨勮偂鏉冦2銆佺偓鍏夌鎶 鍥藉唴瀹炲姏鏈寮虹殑楂樺姛鐜囧崐瀵间綋婵鍏夊櫒鍝佺墝鍟嗭紝鍏徃涓撴敞浜庡崐瀵间綋婵鍏夈佹縺鍏夊厜瀛︿笟鍔￠鍩熴傚叕鍙...
绛旓細鍏夊埢鏈哄搧鐗屼紬澶氾紝鏍规嵁鎶鏈矾绾跨殑涓嶅悓锛屼富瑕佸垎涓轰互涓嬪嚑绫伙細楂樼鎶曞奖寮忓厜鍒绘満鍖呮嫭姝ヨ繘鎶曞奖鍜屾壂鎻忔姇褰变袱绉嶏紝鍒嗚鲸鐜囧彲杈惧嚑绾崇背鑷冲嚑寰背锛屾槸涓栫晫涓婃渶绮惧瘑鐨勪华鍣ㄤ箣涓銆傝繖绫婚珮绔厜鍒绘満鍒堕犻毦搴︽瀬楂橈紝鍏ㄧ悆浠呮湁灏戞暟鍏徃鑳藉鐢熶骇锛鍏朵腑鍖呮嫭鑽峰叞ASML锛堝叾闀滃ご鏉ヨ嚜寰峰浗锛夈佹棩鏈琋ikon锛堣嫳鐗瑰皵鏇捐喘涔拌繃鍏堕珮绔厜鍒绘満锛夊拰鏃ユ湰...
绛旓細楂樼鍏夊埢鏈哄牚绉扮幇浠ｅ厜瀛﹀伐涓氫箣鑺憋紝鍏跺埗閫犻毦搴︿箣澶э紝鍏ㄤ笘鐣屽彧鏈夊皯鏁板嚑瀹跺叕鍙歌兘澶熷埗閫犮傚浗澶栧搧鐗屼富瑕佷互鑽峰叞ASML锛堥暅澶存潵鑷痉鍥斤級锛屾棩鏈琋ikon锛坕ntel鏇剧粡璐拱杩嘚ikon鐨勯珮绔厜鍒绘満锛夊拰鏃ユ湰Canon涓夊ぇ鍝佺墝涓轰富銆傚厜鍒绘満鎬ц兘鎸囨爣 鍏夊埢鏈虹殑涓昏鎬ц兘鎸囨爣鏈夛細鏀寔鍩虹墖鐨勫昂瀵歌寖鍥达紝鍒嗚鲸鐜囥佸鍑嗙簿搴︺佹洕鍏夋柟寮忋佸厜婧愭尝闀裤...
